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Immersion機(jī)臺(tái)缺貨 臺(tái)DRAM廠改采購舊機(jī)種應(yīng)急

  •   全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走入50奈米制程后,浸潤式曝光機(jī)臺(tái)(Immersion Scanner)出現(xiàn)大缺貨,尤其是最新款的NXT:1950i機(jī)種上,交期幾乎拉到快12個(gè)月,使得2010年才下訂單的臺(tái)系DRAM廠苦等多時(shí);存儲(chǔ)器業(yè)者透露,爾必達(dá)(Elpida)陣營開始轉(zhuǎn)向采購舊機(jī)種XT:1950i應(yīng)急。然美光(Micron)陣營則認(rèn)為,舊機(jī)種頂多用到40奈米制程就是極限,不像新機(jī)種NXT:1950i可以一路做到30奈米。   半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在進(jìn)入50奈米以下制程,都必須開始用Immersion Scanner,此機(jī)
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50奈米介紹

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