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Global Foundries宣布2015年將在15nm制程節(jié)點正式啟用EUV光刻技術
- 在最近召開的SemiCon West產業(yè)會議上, Global Foundries 公司宣布他們將在15nm制程節(jié)點開始啟用EUV極紫外光刻技術制造半導體芯片。 Global Foundries 公司負責制程技術研發(fā)的高級副總裁Greg Bartlett還表示,公司將在紐約Fab8工廠建成后馬上開始在這家工廠部署EUV光刻設備,按之前 Global Foundries公布的計劃,這個時間點大概是在2012年下半年,與之巧合的是,光刻設備廠商ASML公司也將于這個時間點開始上市EUV光刻設備。 由
- 關鍵字: GlobalFoundries 15nm 光刻
Intel、IBM 22/15nm制程部分關鍵制造技術前瞻
- 半導體特征尺寸正在向22/15nm的等級不斷縮小,傳統(tǒng)的平面型晶體管還能滿足要求嗎?有關這個問題,業(yè)界已經(jīng)討論了很久?,F(xiàn)在,決定半導體制造技術發(fā)展方向的歷史拐點即將到來,盡管IBM和Intel兩大陣營在發(fā)展方式上會有各自不同的風格和路線,但雙方均已表態(tài)稱在15nm級別制程啟用全耗盡型晶體管(FD:Fully Depleted)技術幾乎已成定局,同時他們也都已經(jīng)在認真考慮下一步要不要將垂直型晶體管(即立體結構晶體管)制造技術如三門晶體管,finFET等投入實用。 據(jù)In
- 關鍵字: Intel 22nm 15nm
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