應(yīng)用材料：MEMS市場的爆發(fā)促使200mm市場持續(xù)增長

　　日前在上海舉辦的第二屆MIG亞洲會議上，Yole Développement調(diào)查數(shù)據(jù)指出，從2000年到2020年間，MEMS市場將保持20年的連續(xù)增長，MEMS產(chǎn)品的市場規(guī)模將在2020年超過250億美元，是2000年的5倍。MEMS傳感器市場的爆發(fā)，將成為帶動物聯(lián)網(wǎng)市場前進的重要因素。

　　站在半導體供應(yīng)鏈的最上游，也許我們能夠更清楚地看出MEMS市場的發(fā)展方向，集微網(wǎng)與全球最大的半導體制造設(shè)備廠商美國應(yīng)用材料公司的兩位專家，戰(zhàn)略和技術(shù)營銷總監(jiān)Michel Rosa博士和全球服務(wù)產(chǎn)品事業(yè)部設(shè)備產(chǎn)品部200mm半導體及動力輔助設(shè)備部門的副總裁兼總經(jīng)理原錚博士，從設(shè)備廠商的角度看MEMS市場的發(fā)展方向。

　　200mm設(shè)備中國市場連續(xù)三年增漲

　　原錚博士一開場便用實際數(shù)據(jù)給出應(yīng)用材料公司在中國市場的發(fā)展情況，“我們看到200mm設(shè)備在亞太區(qū)的銷售額，從2013年的1500萬美元，到2014年的2000萬美元，到2015年的5000萬美元，連續(xù)三年時間實現(xiàn)增長。與全球市場的發(fā)展速度相比，應(yīng)材亞太區(qū)的市場有了顯著增長，尤其是中國大陸和臺灣地區(qū)。”

　　MEMS市場在應(yīng)材的地位已不同往日，三年的時間變化巨大，從默默無聞到不可忽視，該領(lǐng)域今年的營收較去年有三倍的爆發(fā)性增長，占全球收入15%。當然，這其中包括了150mm和200mm的設(shè)備，甚至開始有公司在嘗試進入300mm，這要在兩年前我根本不會相信。

　　目前，從客戶角度來考量，在MEMS、FLASH、MCU、模擬IC、RF領(lǐng)域的設(shè)備選擇上看，無論是200mm還是300mm都不是技術(shù)問題，更多是基于成本考慮。一般來看，200mm設(shè)備的節(jié)點在0.18um~0.13um，極限最多到90nm，300mm一般來說40nm～50nm的工藝更劃算。如果說200mm繼續(xù)保持現(xiàn)有技術(shù)極限的話，需要在產(chǎn)品應(yīng)用上作改變。

　　據(jù)原錚博士透露，在現(xiàn)有200mm向300mm的設(shè)備推進中，我們還積極投入研發(fā)在200mm~300mm間的產(chǎn)品以尋求更高的性價比。Michel認為，以現(xiàn)有市場來看，200mm仍然是生產(chǎn)傳感器，MCU，包含模擬器件的MEMS產(chǎn)品的主要設(shè)備，還將持續(xù)保持增長，MEMS市場的爆發(fā)將創(chuàng)造更多經(jīng)濟價值，應(yīng)材也會持續(xù)投入200mm設(shè)備的研發(fā)，迎接MEMS市場中新的挑戰(zhàn)。

　　以應(yīng)用為導向 推進中國MEMS市場前進

　　近年來，全球智能手機市場一直以超過10%的速度保持增長，每年超過10億部的手機銷往全球各地，中國是全球智能手機最大的市場。原錚博士講道，以iPhone 6為例，76個設(shè)備芯片中有66個是200mm的，其中有15～16個MEMS芯片，所以200mm是當前主流的制造設(shè)備，同時看到MEMS部分的增長非常快。

　　在國外有這樣一家公司，他們將RFID打在牛的身上就可以以知道牛的具體位置。這是一家市值數(shù)十億的公司的小小的一個技術(shù)領(lǐng)域，MEMS的應(yīng)用市場非常大，對于中國來說機會更多，“因為中國人天生對未知的東西特別感興趣，有好奇心。”原錚博士講道，拿PM2.5為例，在中國每個人都非常敏感，但是美國人并不清楚“PM2.5”。Michel用詫異的眼光看著筆者，原錚博士笑談，“我說的沒錯吧!”

　　中國MEMS企業(yè)需要向歐洲企業(yè)學習，創(chuàng)造一個平臺來提升技術(shù)，這才是現(xiàn)階段最重要的。“以PM2.5為例，如果你沒有一個基本的技術(shù)平臺，估值都不準確，那就完了，PM2.5今天是2.5過兩天變成3了。”原錚博士解釋道，“僅僅靠價格戰(zhàn)是不足推進市場進步的。物聯(lián)網(wǎng)市場的多樣性可變性很多，以應(yīng)用為導向的東西說實話是我們的強項。”

　　隨著Apple Watch問世，更多穿戴產(chǎn)品進入人們的日常生活，2015年被喚稱為可穿戴的天下，但實際看上去卻并不成功。原錚表示，問題在于你不能將同樣的設(shè)備既用在手機上，又用到手表上，不希望身上帶有太多的設(shè)備。就像博世Sensortec亞太區(qū)總裁Leopold Beer說的一樣，穿戴產(chǎn)品才剛剛起步，甚至連物聯(lián)網(wǎng)都還沒有有開始，像谷歌眼鏡、手環(huán)啊，還沒有統(tǒng)一的標準和技術(shù)規(guī)格，目前只是早期試驗階段。

　　新技術(shù)新服務(wù) 尋求新價值

　　今年，全球半導體廠商走在并購的道路上，設(shè)備商也開始逐漸集中。從并購角度來看，整個市場的產(chǎn)能并沒有擴充，如果繼續(xù)合并的話，這個對設(shè)備公司來說是有一定壓力的。原錚認為，應(yīng)材在半導體領(lǐng)域仍舊保持領(lǐng)導者地位，目前在營收上暫時沒有感覺到任何變化。

　　原錚表示，第一波MEMS產(chǎn)品的發(fā)展，從DRIE，bonder等主要工藝開始朝向新材料的方向發(fā)展，包括PSO壓電材料這些部分是我們的強項，領(lǐng)先的300mm在平板顯示這些行業(yè)都是使用新的材料工藝。另一方面，我們可以開發(fā)新工藝給客戶使用，例如原先的設(shè)備并非用來做MEMS，但因MEMS需要某種特殊應(yīng)用，比如氮化鋁，氮化鋁并不是半導體的標準的產(chǎn)品，我們可以開發(fā)這種工藝，提供設(shè)備和工藝給客戶使用。

　　對于設(shè)備廠商來說，增加價值和增強服務(wù)是企業(yè)提升利潤的兩個方向。原錚回答道，整體市場在逐漸發(fā)展，設(shè)備的起伏可能較大，但服務(wù)部分比較穩(wěn)定。隨著整體市場的逐漸發(fā)展，像我們公司3萬多臺設(shè)備，服務(wù)將成為很大的一塊市場。比如說設(shè)備要維修需要8小時，我們只要4個小時，這就是在提升單位時間的生產(chǎn)量。另外，提高生產(chǎn)率是增加價值的最重要的途徑，我們最近開發(fā)一個應(yīng)用在高功率機械的產(chǎn)品，需要100個小型芯片，我們開發(fā)出快速增加產(chǎn)量的產(chǎn)品，就是在同等時間下增加價值，讓客戶得到更多好處。