精密高壓穩(wěn)壓電源的研究與設(shè)計(jì)

介紹了用于新型電子束曝光機(jī)的30 kV精密高壓穩(wěn)壓電源。該電源系統(tǒng)采用了直接調(diào)整和間接調(diào)整相結(jié)合的雙閉環(huán)調(diào)整方案，采用了集中補(bǔ)償和分散補(bǔ)償相結(jié)合的系統(tǒng)補(bǔ)償方式，成功地解決了既有高靜態(tài)精度又有高動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性的問(wèn)題。為了保證高精度、高穩(wěn)定性和低紋波電壓等技術(shù)指標(biāo)的實(shí)現(xiàn)，采取了多項(xiàng)合理的特定電路設(shè)計(jì)。針對(duì)電源系統(tǒng)輸出直流高壓這一特點(diǎn)，對(duì)關(guān)鍵技術(shù)采取了針對(duì)性的切實(shí)有效的技術(shù)處理，從而滿(mǎn)足了高壓電源的高可靠性和長(zhǎng)期高穩(wěn)定性的性能要求。各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到或超過(guò)原設(shè)計(jì)要求。