MEMS集成化及智能化是趨勢 爆發(fā)點為定時振蕩器

　　此外，污染和花粉探測正在成為環(huán)境傳感器的一個熱點話題，尤其是考慮到煙霧/過敏原在大城市呈現(xiàn)出高水平。在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，機器人將繼續(xù)推動對越來越精密傳感器的需求。

　　飛思卡爾公司的孫淙也表示，MEMS器件正越來越多地應(yīng)用到環(huán)境和工業(yè)中，例如MEMS化學(xué)氣體和壓力傳感器，這將促進(jìn)檢測和傳感設(shè)備的小型化和便攜化，更方便于環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)檢測。同時，預(yù)計采用MEMS傳感器的無線物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點也將越來越多地應(yīng)用于環(huán)境和工業(yè)領(lǐng)域。針對工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，飛思卡爾推出的MMA8491是一款低功耗的12位三軸加速度傳感器，逐秒采樣時運行耗電低于400nA，關(guān)斷電流小于10nA。MMA8491非常適合于用于無線物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點，提供諸如設(shè)備追蹤，震動以及傾斜檢測。MMA8491提供適用于高可靠性要求的工業(yè)領(lǐng)域的封裝外形。

　　ADI公司的ADXL377是業(yè)界首款商用高量程三軸加速度計。ADXL377可測量±200g滿量程范圍內(nèi)且無信號飽和情況下由沖擊和振動引起的高沖擊事件的加速度。該測量范圍與可連續(xù)捕捉?jīng)_擊數(shù)據(jù)的模擬輸出相結(jié)合，使ADXL377成為接觸類運動的理想傳感器，可通過檢測沖擊力來了解創(chuàng)傷性腦損傷（TBI）指標(biāo)。

　　IDT公司MEMS部門總經(jīng)理Harmeet Bhugra的觀點是，MEMS技術(shù)的最新發(fā)展集中在振蕩器（定時參考）領(lǐng)域。“到目前為止，MEMS僅在諸如手機傳感器這樣的消費產(chǎn)品中獲得采用，下一階段的快速發(fā)展將圍繞定時振蕩器展開。MEMS振蕩器受到如高性能路由器、交換機和存儲集群這樣數(shù)據(jù)中心企業(yè)應(yīng)用的巨大推動，性能已得到足夠提升。”IDT公司針對云計算和企業(yè)應(yīng)用推出了計時振蕩器，其4H性能MEMS振蕩器具有100飛秒（fs）典型相位抖動性能和集成的頻率裕量設(shè)定能力（圖3）。IDT高性能振蕩器的超低相位抖動和可修改的輸出頻率顯著降低萬兆以太網(wǎng)（10GbE）交換器、路由器和其他相關(guān)網(wǎng)絡(luò)設(shè)備的誤碼率（BER）。

　　MEMS時鐘器件進(jìn)入手機市場

　　除了慣性傳感器，傳統(tǒng)的石英晶振也正在被硅MEMS器件取代，硅時鐘器件憑借標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體工藝和可高量產(chǎn)的塑殼封裝技術(shù)，使得時鐘晶振器件的交貨周期和供貨發(fā)生革命性變化，尺寸也更小?！澳壳俺霈F(xiàn)顯著增長的一個應(yīng)用領(lǐng)域是用MEMS時鐘芯片替代傳統(tǒng)石英時鐘，這能夠為用戶帶來更高的性能、靈活性、可靠性，更小的元件尺寸和更低的功耗?！盨iTime公司市場營銷執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia談到。他認(rèn)為，在今后兩年內(nèi)，MEMS時鐘在各種應(yīng)用中的普及將會推動MEMS產(chǎn)業(yè)的增長。面向MEMS時鐘的新應(yīng)用包括智能手機、平板電腦、數(shù)碼相機、運動健身器材（如手表），醫(yī)療健康設(shè)備（血壓計、血糖檢測儀等）、電子配件（如MP3、耳機）以及計算機外圍設(shè)備（無線鼠標(biāo)、觸控板等）。

　　SiTime的MEMS時鐘器件包括振蕩器，諧振器和時鐘發(fā)生器已在各類消費和移動電子產(chǎn)品中被廣泛采納。此外，SiTime元件具有可編程的功能，為用戶提供了極強的靈活性和新功能，如頻率精度達(dá)到小數(shù)點6位。SiTime的硅MEMS時種器件由低功耗MEMS與可編程的模擬電路集成，采用完全的硅制程工藝。繼推出針對系統(tǒng)設(shè)備、工業(yè)控制和消費電子的高端硅MEMS后，SiTime公司最新的SiT15xx系列32kHz MEMS振蕩器（圖4）以多種方式克服了基于石英器件的限制，占位面積減小了85%，功耗降低了50%，可靠性提高了15倍，所有這些都有助于實現(xiàn)體積更小、功耗更低和更耐用的移動電子產(chǎn)品。此外，各種醫(yī)療健身器件和目前非常熱門的各種智能配帶式產(chǎn)品如智能手表、智能眼鏡等等也非常適合使用硅MEMS時鐘振蕩器。