高壓快速響應(yīng)PZT驅(qū)動電源設(shè)計

摘要：壓電陶瓷(PZT)驅(qū)動電源是微位移器應(yīng)用中的關(guān)鍵部件，針對PZT的容性負載特性，本文采用高壓高帶寬的MOSFET功放管和集成運放設(shè)計并實現(xiàn)了一種高壓快速驅(qū)動電源的設(shè)計方案，配合相位補償網(wǎng)絡(luò)和保護電路，改進了PA78驅(qū)動容性負載電路的穩(wěn)定性。實驗表明，該PZT驅(qū)動電源帶寬可達60 kHz，輸出電壓范圍是-100～100 V，具有好的動態(tài)性能-從0-50 V所用時間為7μs，最大非線性相對誤差為0.52%，且能長時間穩(wěn)定工作，解決了PZT驅(qū)動電路中的不能長期穩(wěn)定工作的問題。

關(guān)鍵詞：PZT;驅(qū)動電源;快速響應(yīng);PA78

壓電陶瓷(PZT)技術(shù)屬于精密定位與測量領(lǐng)域中十分先進的技術(shù)之一。PZT微位移器具有體積小，位移分辨率高，頻響高，無噪聲，不發(fā)熱等特點，是一種理想的微位移元件，廣泛應(yīng)用于各種精密儀器和機電一體化設(shè)備中。任何PZT微位移器件的使用都需要驅(qū)動電源，而對于外加PZT驅(qū)動電源而言，PZT相當(dāng)于容性負載，其能否正常、有效的工作，主要取決于其驅(qū)動電源的性能，所以驅(qū)動電源的性能直接關(guān)系著高精度微位移的實現(xiàn)。

1 驅(qū)動電源的設(shè)計方案

1.1 驅(qū)動電源總體設(shè)計

驅(qū)動電源設(shè)計的總體框圖如圖1所示。整體包括驅(qū)動電源供電、放大電路兩個重要部分。驅(qū)動電源的供電用兩個穩(wěn)壓電源：±15 V穩(wěn)壓電源和±175 V穩(wěn)壓電源為放大電路中的芯片提供穩(wěn)定的直流電壓。放大電路實現(xiàn)電壓的放大，輸出具有一定的驅(qū)動能力的穩(wěn)定電壓，該部分決定著驅(qū)動電壓的輸出性能，是電源設(shè)計的核心部分。

1.2 驅(qū)動電源核心電路設(shè)計

本文設(shè)計的驅(qū)動電源主要是基于電壓驅(qū)動型。以高壓運放PA78為放大電路的核心，驅(qū)動電源中放大電路的框圖如圖2所示。一般放大電路由輸入級，中間放大級和輸出級3

部分構(gòu)成，而高壓運放PA78將3部分集成在一個芯片內(nèi)，使電路集成度大大提高，減小了體積，簡化了設(shè)計。

由上面的分析設(shè)計放大電路的電路圖，如圖3所示。本設(shè)計的放大電路是一個兩級放大，其中放大倍數(shù)是可調(diào)的。電路的放大倍數(shù)等于前級放大倍數(shù)乘以高壓放大電路的放大倍數(shù)，因此調(diào)節(jié)電阻R9可改變整個放大電路的放大倍數(shù)。

1.3 保護電路及相位補償

對PA78驅(qū)動壓電陶瓷的放大電路，因為壓電陶瓷有正壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)，在電路工作時壓電陶瓷會膨脹變形發(fā)生正壓電效應(yīng)，使變形產(chǎn)生的機械能轉(zhuǎn)換為電能，這些電

能會進入放大器的輸出端從而對運放有破壞作用，很多壓電陶瓷驅(qū)動源不能長時間穩(wěn)定工作，這是很重要的一個原因。所以阻止這些電能進入運放是很有必要的。如圖4所示，在運放輸出端到正負電源問通過連接快速恢復(fù)性二極管D1、D2可以起到保護運放的作用。

集成運放的應(yīng)用電路開環(huán)增益為一定值時，若相移過大，電路將產(chǎn)生高端提升及振蕩現(xiàn)象。為了避免此類情況，需要對集成運放電路進行相位補償來提高放大電路的穩(wěn)定性。由于PA78內(nèi)部的設(shè)計，需要兩個補償網(wǎng)絡(luò)，并且補償元件的值是相同的以便提供對稱的轉(zhuǎn)換速率。如圖4所示，補償元件Rc+=Rc+=3 kΩ，Cc+=Cc-=6.8 pF，且Cc+、Cc-是NPO電容，耐壓值為500 V。這兩個補償網(wǎng)絡(luò)可以避免運放產(chǎn)生寄生振蕩。此外在PA78的Cc-和-Vs引腳還需要33 pF的電容C5，它可以阻止輸出端下降沿產(chǎn)生的振蕩。一般而言補償電容的容值選擇在1 pF到22 pF范圍內(nèi)比較好，隨著電容值的增加，穩(wěn)定性越好，但會損失帶寬，所以在設(shè)計中根據(jù)設(shè)計需求，選擇6.8 pF。

2 實驗結(jié)果分析

2.1 輸出電壓的測試

放大倍數(shù)為20，頻率為1 kHz時，輸入峰峰值不同時輸出的波形如圖5所示。隨著輸入峰峰值的增加，輸出波形峰峰值跟著增加，當(dāng)輸出電壓的峰峰值為220 V時，波形出現(xiàn)失真，所以驅(qū)動電源輸出電壓的范圍可達-100～100 V，能滿足絕大多數(shù)PZT位移量的驅(qū)動需求。

2.2 輸出頻率測試

放大倍數(shù)為20，峰峰值為1 V時，輸入頻率不同時輸出的波形如圖6所示。隨著頻率的增大，輸出波形的跟著變化。當(dāng)輸入頻率為60 kHz時輸出波形有所變形，并且波形幅度也有所下降，但在誤差允許范圍內(nèi)。當(dāng)頻率為100 kHz時波形幅度已下降很多。

2.3 電源線性度測試

輸出電壓線性度反映電源的精度指標(biāo)是指電源的實際輸出特性與理想直線之間的最大誤差。調(diào)整放大倍數(shù)大約10倍，在直流0～10 V輸入時，實測輸出電壓如表1。用origin對該組數(shù)據(jù)進行分析，用一次多項式進行擬合得到擬合直線為10.170 45*x-0.060 45，如圖7所示。由此式算出直線擬合后的電壓值從而算出誤差。當(dāng)輸入電壓為7 V時，誤差最大，且非線性相對誤差也為最大經(jīng)計算為0.52%。

2.4 階躍響應(yīng)測試

如圖8所示，驅(qū)動電源輸出端電壓從0 V上升到50 V用時為7μs。