靜電計(jì)如何用恒流法測(cè)量大于1GΩ的高電阻

采用恒流法，可以使用靜電計(jì)電壓表和電流源或者只使用靜電計(jì)歐姆計(jì)來(lái)測(cè)量高電阻。也可以使用具有高輸入阻抗的電壓表和微電流源的SMU來(lái)進(jìn)行測(cè)量。使用帶有分立的電流源的靜電計(jì)電壓表或SMU時(shí)，用戶能夠進(jìn)行四線測(cè)量并控制流過(guò)樣品的電流。靜電計(jì)歐姆計(jì)依據(jù)測(cè)量的量程，在規(guī)定的電流下，進(jìn)行兩線電阻測(cè)量。

使用靜電計(jì)電壓表和外部電流源
恒流源法的基本電路配置如圖2-31所示。電流源的電流（I）流過(guò)未知電阻（R），并由靜電計(jì)電壓表測(cè)量其電壓降（V）。用這種方法可以測(cè)量高達(dá)1012Ω的電阻。雖然基本方法看起 來(lái)非常簡(jiǎn)單，但是必須采取一些預(yù)防性的措施。電壓表的輸入阻抗與源電阻相比必須足夠高，以便使負(fù)載誤差保持在可以接受的水平。通常靜電計(jì)電壓表的輸入阻抗大約為1014Ω。而且，電流源的輸出電阻必須比未知電阻大得多，才能使測(cè)量為線性。樣品兩端的電壓決定于樣品的電阻，因此在使用恒流法時(shí)，難于考慮電壓系數(shù)的問(wèn)題。如果關(guān)心電壓系數(shù)，最好使用恒壓法。靜電計(jì)電壓表和分離的電流源可以在采用四點(diǎn)探頭法或van der Pauw法測(cè)量半導(dǎo)體材料的高電阻率時(shí)使用。