CCD傳感器實(shí)時檢測技術(shù)在微細(xì)電火花加工機(jī)床上應(yīng)用的優(yōu)勢
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圖2為總和所有結(jié)果出現(xiàn)頻率比。通過計算標(biāo)準(zhǔn)偏差我們可以得到人為因素對測量精度影響為當(dāng)可信度為95％時的±4．05μm，并且此工件的平均寬度為9 996μm，即為-4μm偏離實(shí)際寬度。
3．1．2 高放大倍率CCD可視檢測儀——TolTec
TolTec250為放大倍率250的CCD可視檢測儀事一種高放大率并同時可安裝在線切割電火花機(jī)床和電火花刻磨機(jī)上。當(dāng)該儀器被安裝在線切割電火花機(jī)床上后工件和鏡頭間的相對位置就已固定，但若是安裝在電火花刻磨機(jī)上就能對鏡頭進(jìn)行調(diào)整。因此實(shí)驗(yàn)過程中雖然此儀器被安裝在電火花刻磨機(jī)上，但為了模擬與新研發(fā)的組合式可視檢測系統(tǒng)同樣被安裝在線切割電火花機(jī)床上的測試條件，從觀測屏上看到的工件與XY基準(zhǔn)線呈一定角度。
為了測試該儀器的精確度，以下實(shí)驗(yàn)被組織：
實(shí)驗(yàn)別分組織了13個人使用此儀器測量一標(biāo)準(zhǔn)工件的寬，每人可測量任意次數(shù)，到最后共46個測量結(jié)果被收集(平均每人每次測量用時5分鐘)。每次測量時共需要在工件的兩邊定義3點(diǎn)，然后利用電火花機(jī)床中得數(shù)控系統(tǒng)算出其中一點(diǎn)到另外兩點(diǎn)所確定直線上的垂直距離。本文引用地址：http://2s4d.com/article/160465.htm
分析圖3可以得到此種手動測試法的精確度為可信度95％下的±2．6μm，并且-0．01μm偏離實(shí)際寬度。
3．2 自動測量法
3．2．1 光學(xué)測量儀
Optical Gaging Products(OGP)是一款基于光學(xué)原理的非接觸式高精度自動測量設(shè)備。使用此儀器進(jìn)行測量時可以調(diào)試如光強(qiáng)，放大倍數(shù)等參數(shù)，因此為了確定最佳測量狀態(tài)，設(shè)計了以下一系列對比實(shí)驗(yàn)。
10 mm寬標(biāo)準(zhǔn)工件再次被使用，下面分別是4組僅使用背景光照明情況下的對比實(shí)驗(yàn)：1)最小放大率；2)最大放大率僅對焦一邊；3)最大放大率下對焦另一邊；4)最大放大率下對焦兩邊。最后結(jié)果可從表格2中讀出。
由上述結(jié)果可得，最高放大率下多次對焦實(shí)驗(yàn)結(jié)果最好，95％可信度下的精確度可達(dá)±0．52μm。
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