日本住友精密收購Tegal離子刻蝕事業(yè)部

　　日本住友精密產(chǎn)品公司(SPP)日前完成了對Tegal離子刻蝕事業(yè)部的收購，由此促成Tegal轉(zhuǎn)型為太陽能系統(tǒng)項(xiàng)目開發(fā)商。Tegal以制造和銷售深度反應(yīng)離子刻蝕(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)設(shè)備而著稱，但該公司2009年就打算退出半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，轉(zhuǎn)投新興的太陽能系統(tǒng)項(xiàng)目開發(fā)市場。

　　兩家公司都沒有透露有關(guān)交易的細(xì)節(jié)，公開的消息是住友精密產(chǎn)品的子公司，SPP 工藝技術(shù)系統(tǒng)公司(SPTS)接管了Tegal的有關(guān)設(shè)備資產(chǎn)，其中包括Tegal DRIE 系列的所以設(shè)備、知識產(chǎn)權(quán)、和有關(guān)的制造工藝技術(shù)。SPTS 在2009年還合并了另一家日子難熬的設(shè)備公司Aviza Technologies。