增芯科技12英寸晶圓制造項(xiàng)目投產(chǎn)啟動(dòng)，內(nèi)含國內(nèi)首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓生產(chǎn)線

2024年6月28日，增芯科技12英寸晶圓制造項(xiàng)目在廣州增城投產(chǎn)啟動(dòng)，該項(xiàng)目建設(shè)有國內(nèi)首條、全球第二條的12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線。同期舉辦“12英寸MEMS智能傳感器技術(shù)交流會(huì)暨增芯投產(chǎn)活動(dòng)”，相關(guān)政府領(lǐng)導(dǎo)、業(yè)內(nèi)專家學(xué)者和企業(yè)家等百余位嘉賓出席活動(dòng)。

“增芯科技12英寸晶圓制造產(chǎn)線投產(chǎn)儀式”在增城經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)核心區(qū)舉行。現(xiàn)場，增芯總經(jīng)理張亮難掩激動(dòng)，“增芯可以在增城生產(chǎn)第一批芯片產(chǎn)品了！”他介紹，芯片完整的制造流程涉及氣相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蝕、離子注入等步驟，分別對(duì)應(yīng)不同設(shè)備。投產(chǎn)儀式的啟動(dòng)，意味著項(xiàng)目已建立起制造系統(tǒng)，整個(gè)生產(chǎn)流程能夠連貫地運(yùn)作。后續(xù)，增芯將通過產(chǎn)品良率提升和產(chǎn)能爬坡，加快產(chǎn)品交付工作。

面向粵港澳大灣區(qū)這一全球傳感器最大的應(yīng)用市場，增芯專注于MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）、先進(jìn)模擬／混合信號(hào)等特色芯片制造技術(shù)領(lǐng)域?！霸鲂静扇〔町惢偁幉呗裕瑢Ｗ⒂诟吒郊又档腗EMS傳感器及特色細(xì)分產(chǎn)品市場段?！睆埩帘硎尽?/span>

項(xiàng)目一期產(chǎn)能預(yù)計(jì)于2025年底達(dá)到2萬片／月；一期工藝技術(shù)采用MEMS力學(xué)傳感器和130-55納米成熟制程。

“我們主攻的12英寸55nm-90nm工藝產(chǎn)品，具有性能功耗平衡、高集成度、成本效益和成熟度穩(wěn)定等技術(shù)特點(diǎn)，在多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域具備廣泛適應(yīng)性，市場份額穩(wěn)定。”張亮介紹，這些特性使得“增芯出品”有望在半導(dǎo)體市場取得獨(dú)特的地位。

投產(chǎn)啟動(dòng)儀式現(xiàn)場

增芯科技12英寸晶圓制造項(xiàng)目于2022年12月14日啟動(dòng)開工，僅歷時(shí)18個(gè)月，便完成了包括潔凈室26000平、總面積210000平、主設(shè)備300余臺(tái)搬入等項(xiàng)目建設(shè)?！白畲蟮母惺芫褪恰?span style=";padding: 0px;outline: 0px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important">快’”，張亮表示。如此令人咂舌的“增芯速度”背后，是增芯科技不遺余力推動(dòng)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的決心。圍繞今日投產(chǎn)的國內(nèi)首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線，增芯科技在未來將做更多的開發(fā)和應(yīng)用，助力我國MEMS產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化率和應(yīng)用水平的快速提高，推動(dòng)我國MEMS產(chǎn)業(yè)在各大相關(guān)領(lǐng)域的深度發(fā)展。

不僅是MEMS產(chǎn)業(yè)。增芯科技同時(shí)表示，本次投產(chǎn)的12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線是增芯科技12英寸晶圓制造項(xiàng)目的第一條產(chǎn)線，但絕不會(huì)是最后一條。增芯科技對(duì)我國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)前景抱有極高預(yù)期和信心，未來將有序啟動(dòng)更多的產(chǎn)線建設(shè)，覆蓋MEMS以外的各類工藝平臺(tái)和產(chǎn)品類型，將科學(xué)技術(shù)運(yùn)用到產(chǎn)品和實(shí)踐當(dāng)中，為廣州、全國乃至全球的集成電路產(chǎn)業(yè)提供全方面的優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

“增芯速度”的形成也離不開其背后民營資本力量的支持。據(jù)悉，增芯科技12英寸晶圓制造項(xiàng)目是由廣州灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司發(fā)起成立。灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)主要由興橙資本、福建金盛蘭和山西新民能源等三家民營資本出資籌建。在國家提倡促進(jìn)民營經(jīng)濟(jì)發(fā)展壯大的當(dāng)下，興橙資本等股東思想統(tǒng)一，步調(diào)一致，積極投身新質(zhì)生產(chǎn)力建設(shè)的國家號(hào)召當(dāng)中，以18個(gè)月的“增芯速度”完成了項(xiàng)目首條產(chǎn)線的建設(shè)，并以此項(xiàng)目為鏈主，引進(jìn)落戶了越海、廣東微技術(shù)工研院、中微廣州、智達(dá)星空等一批能級(jí)高、帶動(dòng)力強(qiáng)的骨干項(xiàng)目，為廣州東部中心增城開發(fā)區(qū)打造為大灣區(qū)的“硅谷”提供了強(qiáng)勁動(dòng)力。

“12英寸MEMS智能傳感器技術(shù)交流會(huì)暨增芯投產(chǎn)活動(dòng)”在廣州增城凱悅酒店舉行。本場交流會(huì)以MEMS智能傳感器的產(chǎn)業(yè)思考為主題，與會(huì)嘉賓們就智能傳感器技術(shù)的應(yīng)用展望、MEMS產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展現(xiàn)狀及思考等相關(guān)議題展開交流與討論。

增芯科技商務(wù)中心副總裁彭坤主持本次交流會(huì)；深圳大學(xué)微電子研究院及半導(dǎo)體制造研究院院長王序進(jìn)院士，清華大學(xué)深圳國際研究生院副教授、晶鐵半導(dǎo)體技術(shù)（廣東）有限公司董事長張盛博士，上海矽睿科技股份有限公司市場研究總監(jiān)陳俊等進(jìn)行主題演講。

清華大學(xué)副教授、晶鐵半導(dǎo)體技術(shù)（廣東）有限公司董事長張盛

上海矽睿科技股份有限公司市場研究總監(jiān)陳俊

主持人：增芯科技商務(wù)中心副總裁彭坤

本次交流會(huì)還設(shè)有“12英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)思考”的專家對(duì)話環(huán)節(jié)。芯謀研究副總經(jīng)理鄧紅梅主持本環(huán)節(jié)，增芯科技商務(wù)中心副總裁彭坤，中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院（賽迪研究院）研究室主任、高級(jí)工程師馬曉凱博士，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)常務(wù)副秘書長萬成東，深圳市鵬進(jìn)高科總經(jīng)理賈國軍，廣東越海集成技術(shù)有限公司總經(jīng)理賴芳奇，上海矽?？萍脊煞萦邢薰臼袌鲅芯靠偙O(jiān)陳俊等出席本環(huán)節(jié)。

專家對(duì)話環(huán)節(jié)