成功供貨臺積電！泓滸半導(dǎo)體談晶圓傳輸賽道的國產(chǎn)替代趨勢

• 談選擇：工程師創(chuàng)業(yè)，聚焦國產(chǎn)化半導(dǎo)體設(shè)備賽道

• 談市場：撬動壟斷，在百億級設(shè)備市場中找尋定位

• 談優(yōu)勢：會修也會造，深耕半導(dǎo)體核心零部件研發(fā)

談選擇：工程師創(chuàng)業(yè)，

聚焦國產(chǎn)化半導(dǎo)體設(shè)備賽道

幻實(shí)（主播）：歡迎大家關(guān)注芯片揭秘，今天我和老朋友、來自泓滸半導(dǎo)體的林堅(jiān)總裁共同和大家做交流。先請林總給大家打個(gè)招呼，介紹一下自己。

林堅(jiān)（嘉賓）：大家好，我是來自泓滸半導(dǎo)體的林堅(jiān)。很高興能夠和（艾新德魯夫）曹院長做客芯片揭秘，我會把我的一些創(chuàng)業(yè)經(jīng)驗(yàn)和這幾年我們在半導(dǎo)體方面發(fā)展的故事分享給大家，謝謝！

幻實(shí)（主播）：林總很謙虛，我知道您最開始是在中芯國際工作，后來出來創(chuàng)業(yè)，在半導(dǎo)體這一行摸爬滾打很多年。為什么決定成立泓滸半導(dǎo)體這樣的公司？你們聚焦在什么領(lǐng)域？

林堅(jiān)（嘉賓）：泓滸是一家致力于國產(chǎn)化半導(dǎo)體傳輸設(shè)備及核心零部件研發(fā)、制造及半導(dǎo)體耗材的企業(yè)。原來我在中芯國際工作時(shí)，設(shè)備受到了國外很多限制，有一些比較強(qiáng)勢的供應(yīng)商不簽合同，不僅在業(yè)務(wù)上施加不少壓力，而且可能連最基本的技術(shù)探討都不愿意。那時(shí)我們非常急，因?yàn)橐粭l24小時(shí)運(yùn)作的產(chǎn)線，一個(gè)重要lot（節(jié)點(diǎn)）被擋住，壓力會非常大，設(shè)備修不起來，那這個(gè)機(jī)臺我就沒顧好，進(jìn)而績效就不好。所以我就在想如果那時(shí)能有一些國產(chǎn)的供應(yīng)商或者國產(chǎn)工程師支持我解決問題，對我來說會是非常大的幫助。

幻實(shí)（主播）：這里我有一個(gè)疑問，像中芯國際這種國內(nèi)頭部的晶圓代工廠，作為甲方，為什么乙方還敢用如此傲慢的態(tài)度來對它？這一點(diǎn)圈外人幾乎很難相信，您能否展開說一下他們?yōu)槭裁磿绱藦?qiáng)勢？

林堅(jiān)（嘉賓）：中芯國際在國內(nèi)是很厲害，但KLA/KT （專業(yè)美資半導(dǎo)體（芯片）設(shè)備供貨商，全稱KLA-Tencor )這種世界500強(qiáng)的大公司，中芯國際在它們的營銷策略里面也只能被作為常規(guī)的客戶去對待。一旦中芯國際的售后收費(fèi)模式有問題時(shí)，他們就會鎖住服務(wù)。

而KT這種公司本身就是靠服務(wù)來營收的，所以它會把技術(shù)卡得很死。這是理所當(dāng)然的，公司都會把核心的技術(shù)留在自己手上，沒有什么可以質(zhì)疑的。另外，他們要面對的客戶很多，也許從私交關(guān)系來說想給我們做，但從公司的政策來講，沒錢就沒法調(diào)動總部的資源，沒法派工程師過去，這都是現(xiàn)實(shí)的問題，大公司的流程就是這樣。只能說我們技不如人，還沒有培養(yǎng)好人才掌握這些技術(shù)。

工程師維護(hù)的都是主機(jī)臺的腔體，定期做保養(yǎng)。傳輸在半導(dǎo)體廠里實(shí)際上是非常小的模塊，只不過宕機(jī)是個(gè)大麻煩，好在基本上五、六年都不會down一次。

幻實(shí)（主播）：也就是說傳輸設(shè)備一旦穩(wěn)定下來就能用很長時(shí)間？

林堅(jiān)（嘉賓）：對，基本上五、六年不會宕機(jī)，但出了問題就很麻煩。因?yàn)槲覀円郧安恢繰obot（機(jī)器人）是怎么傳的，一旦出了問題，就更不知道怎么去解決了。

工程師工作實(shí)景 （泓滸半導(dǎo)體供圖）

幻實(shí)（主播）：大家都沒這個(gè)經(jīng)驗(yàn)。

林堅(jiān)（嘉賓）：即使我們現(xiàn)在教會了工程師，但五、六年才會用到一次，工程師那時(shí)也生疏了。因此我從中芯國際出來后在這個(gè)細(xì)分賽道上潛心鉆研，每天都去研究、去拆它，到后來碰到什么問題，只要線下跟我一講，我大概就能知道病根，可以快速解決，不繞圈子，不走彎路，基本上三個(gè)小時(shí)就能搞定。換做沒有經(jīng)驗(yàn)的，可能要不停更換零件才能定位問題，那時(shí)就已經(jīng)花了三五天的時(shí)間。對客戶來說是產(chǎn)能的損失，效率十分低下。

我為什么出來創(chuàng)業(yè)？其實(shí)是希望能夠借助我在半導(dǎo)體行業(yè)里積累的經(jīng)驗(yàn)和沉淀，再調(diào)撥一些資源，幫助fab廠的工程師來解決平時(shí)基本遇不到、但一遇到就很難的問題，讓自己能夠聚焦在某一個(gè)賽道把它做得很精，這是我當(dāng)時(shí)選擇創(chuàng)業(yè)最基本的初心。

幻實(shí)（主播）：讓客戶所有的設(shè)備都能良性運(yùn)轉(zhuǎn)，初心特別好，但我也覺得肯定不容易。發(fā)展到現(xiàn)在感覺這條路上有沒有非?？部赖牡胤剑?/span>

林堅(jiān)（嘉賓）：其實(shí)還好。以前在中芯國際這種半導(dǎo)體廠里面，大家都是24小時(shí)在線沒日沒夜的做，隨叫隨到。那時(shí)我們住在中芯花園，基本上十幾分鐘就能到公司。因?yàn)橐粭l產(chǎn)線太貴了，哪怕停半小時(shí)，帶來的損失都是用幾十萬、幾百萬來計(jì)算的，所以不能有時(shí)間上的浪費(fèi)。這就磨練了我們工程師吃苦耐勞的品質(zhì)。

創(chuàng)業(yè)這件事對我來講本身是有挑戰(zhàn)的，很多事情都要自己去思考、去解決。這個(gè)過程會碰到資金的問題、初始人員招募的問題，所以早期我就自己拿著螺絲刀到fab廠里面去修機(jī)器，半夜十二點(diǎn)進(jìn)去，有時(shí)干到凌晨三、四點(diǎn)都是常態(tài)。
現(xiàn)在我們已經(jīng)有了一個(gè)非常好的團(tuán)隊(duì)可以勝任這些事情，能快速解決問題。資金方面最困難的時(shí)候，我和我們董事長把房子抵押了，我把蘇州的房子抵押貸款了200萬，他把昆山的別墅抵押貸款了300萬，再加上200萬的信用額度貸款，湊夠了700萬。

幻實(shí)（主播）：當(dāng)時(shí)慌不慌？家里支持嗎？

林堅(jiān)（嘉賓）：慌，但家里是支持的，實(shí)際上創(chuàng)業(yè)這件事就是要靠家里支持，否則不會走遠(yuǎn)。原本維修其實(shí)不需要投入很大的資金，但是一旦做設(shè)備了，就要自己研發(fā)，只要研發(fā)就要做樣機(jī)，還得和客戶去測試demo產(chǎn)品，這也意味著早期可能是拿不到錢的。可很多核心部件都得現(xiàn)款現(xiàn)貨，資金的用量就會比較大，所以早期真的很辛苦。好在后面我們自己慢慢地做出來，受到一些資本的青睞，給到了我們資金上的支持，讓我們在這個(gè)賽道上快速地占領(lǐng)市場。

談市場：撬動壟斷，

在百億級設(shè)備市場中找尋定位

幻實(shí)（主播）：現(xiàn)在傳送的市場大概有多大？常規(guī)的傳送以及咱們現(xiàn)在定位的這種真空傳送，它的市場空間容量怎么樣？

林堅(jiān)（嘉賓）：傳送是一個(gè)通用性的東西，我們也做過測算，這是一個(gè)百億級的市場。目前12吋的所有主設(shè)備都需要傳送的模塊，我們稱之為EFEM模塊（主設(shè)備前置模塊）。12吋的盒子大，不會像原先8吋的能用人工放上去。12吋的技術(shù)節(jié)點(diǎn)也高，微環(huán)境要控制的非常好，都是在FOUP(晶圓傳送盒）里面去做承載的，所以必須要有這樣一個(gè)傳送的模塊。目前這個(gè)模塊基本上還集中在日本和美國這些大的設(shè)備商手中。

此外，傳送還應(yīng)用在晶圓的傳片機(jī)中。本身fab里12吋在擴(kuò)建產(chǎn)能，現(xiàn)在大家都在各自建廠，美國的技術(shù)封鎖以后，每個(gè)國家都意識到了芯片這個(gè)行業(yè)必須要回歸到自己來做。所以這一塊擴(kuò)產(chǎn)的腳步非?？欤貏e是中國大陸的建廠，需求就應(yīng)運(yùn)而生了。我們測算了一下這部分的市場，大概在四五百億的規(guī)模。以目前來看，國產(chǎn)設(shè)備可能只占10%-15%的份額，國家要求在2035年要實(shí)現(xiàn)70%的國產(chǎn)化，所以這里的空間實(shí)際上是巨大的。我們也慶幸所在的賽道未來有這么大的市場來展現(xiàn)給我們。原來的市場都在國外，我們是沒有機(jī)會的，現(xiàn)在這一波讓我們有了機(jī)會，那就要盡快地?fù)屨歼@個(gè)市場。

幻實(shí)（主播）：現(xiàn)在泓滸半導(dǎo)體有幾款在售的自研產(chǎn)品？

林堅(jiān)（嘉賓）：2019年我們在合肥新匯成推出了第一款Sorter（晶圓傳片機(jī)）。很巧，前不久在新匯成的過會答謝晚宴上，我說新匯成對整個(gè)國產(chǎn)設(shè)備的扶持力度非常大，愿意嘗試使用國產(chǎn)設(shè)備，所以給了我們這個(gè)機(jī)會。從2019年到現(xiàn)在已經(jīng)重復(fù)購買了7臺，持續(xù)的購買是對我們極大的認(rèn)可。像大氣傳送的Sorter還有EFEM目前已經(jīng)是一個(gè)成熟的產(chǎn)品了。

服務(wù)方面我們也很成熟，后續(xù)泓滸會出品更多的機(jī)型，覆蓋面會更廣。今年我們重點(diǎn)做了VTM（主設(shè)備真空傳送模塊）的開發(fā)，從傳送賽道來講，真空傳送也是一個(gè)非常大的市場。所有的設(shè)備都要大氣傳送，但是例如蝕刻、Thinfilm（薄膜工藝）等都是真空傳送，是在真空的腔體里來做制程的。所以還要額外再做一個(gè)真空的傳送模塊，目前這個(gè)模塊都還是美國的BROOKS公司在壟斷。

VTM與SMIF 設(shè)備產(chǎn)品圖 （圖源：泓滸半導(dǎo)體提供）

幻實(shí)（主播）：技術(shù)含量應(yīng)該很高。

林堅(jiān)（嘉賓）：是的，它的技術(shù)含量是比較高的，要在真空環(huán)境中讓晶圓在沒有外力的情況下自摩擦，操作時(shí)手臂不能抖，還要考慮控制好微環(huán)境。

幻實(shí)（主播）：微環(huán)境是wafer（晶圓）在里面飄著的感覺嗎？

林堅(jiān)（嘉賓）：對，不能有其他外力。

幻實(shí)（主播）：也不能污染？

林堅(jiān)（嘉賓）：是的，第一是要絕對的真空，不能有別的東西進(jìn)去，因?yàn)樗^的真空壓力沒有它低；第二，本來就是要真空的，再通一路氣肯定是不允許的，因此全靠自摩擦。但凡Robot（機(jī)器人）有一點(diǎn)抖動，基本上就會發(fā)生劃片，一劃片傳進(jìn)去就不準(zhǔn)了，wafer（晶圓）可能就碎掉了，這會非常嚴(yán)重。所以在真空傳送里面要挑戰(zhàn)的東西比較多。

還有一些問題是真空和大氣的硬件互鎖沒做好，不小心誤點(diǎn)就能把門打開，這樣的話大氣會灌進(jìn)去把晶圓震碎。這些都是非常難的，需要很有經(jīng)驗(yàn)的人預(yù)先知道會發(fā)生這種事故，以便知道在哪些地方要做特別多的硬件互鎖。這些是經(jīng)驗(yàn)的積累，而不是功能的實(shí)現(xiàn)。功能實(shí)現(xiàn)不難，開個(gè)門就行，大家都知道。但要在未知錯(cuò)誤發(fā)生前先預(yù)想到造成機(jī)臺和晶圓損傷的可能性，沒有一定經(jīng)驗(yàn)的人在這一塊上是有欠缺的，不是所有人都能快速去做成。很多坑國外要踩10年，你必然也要踩10年；但如果你做過，知道人家踩過哪些坑，也許你就能規(guī)避，可能只踩一年的坑就行了。

幻實(shí)（主播）：所以理解用戶需求也是一個(gè)積累的過程。

林堅(jiān)（嘉賓）：泓滸的團(tuán)隊(duì)就是從中芯國際出來的，來自于客戶，我們以前就是甲方，所以很清楚一個(gè)設(shè)備要做成什么樣子。例如它的安全性和尺寸大小，特別是速度要快，要穩(wěn)定，要免保養(yǎng)，拆起來要方便和簡單，互鎖要做好。以前出了bug我讓設(shè)備商和供應(yīng)商去解，現(xiàn)在我們自己就知道一臺設(shè)備應(yīng)該在哪些地方著重去做，只有這樣做出來的設(shè)備才是甲方真正需要的設(shè)備。

如果只是模仿一臺設(shè)備，看人家是怎么傳的，僅僅實(shí)現(xiàn)傳送功能，很多核心根本弄不清楚，這個(gè)時(shí)候必然會有一些問題產(chǎn)生。泓滸的傳輸是比較有經(jīng)驗(yàn)的、互鎖做得好的。其實(shí)半導(dǎo)體這一行有時(shí)候并沒有太多的試錯(cuò)機(jī)會，除非某一個(gè)賽道沒人做，逼著讓你來做，你才會不停地研究和嘗試。但凡有人做過的、有經(jīng)驗(yàn)的，其他人再想切入這個(gè)賽道，一旦發(fā)生一個(gè)案子，對方就會覺得你們考慮的東西還不夠，就會再去找考慮得更周全的其他企業(yè)來做。

進(jìn)入這一行并不容易，以前我們這個(gè)行業(yè)是非常封閉的，一直追求的是所謂Install base（這里指已占有的市場），非常保守。假設(shè)今天你想把面前這個(gè)瓶子移到另一個(gè)位置，覺得似乎很簡單，應(yīng)該沒問題，但馬上就會被老板質(zhì)疑：什么是應(yīng)該？你有沒有擺過去試試看？風(fēng)道會不會變？風(fēng)壓會不會調(diào)整？微粒會不會有一些位移？這些東西都是很關(guān)鍵的。在不知道的情況下，要用DOE（Design of Experiment）的實(shí)驗(yàn)，用嚴(yán)格的數(shù)據(jù)證明到底影不影響，而不能說將材料換一換就應(yīng)該沒問題，因?yàn)檫@直接關(guān)系到良率，必須非常嚴(yán)謹(jǐn)。

現(xiàn)在我們公司新進(jìn)員工的第一課，我就會告訴他們要用敬畏之心來面對現(xiàn)在從事的半導(dǎo)體行業(yè)，不懂就是不懂，不要裝懂，也不要知其然不知其所以然，這也容易犯錯(cuò)。為什么呢？有時(shí)候我們是不知道會發(fā)生一些變化的，很容易忽略掉而按照原來的方法做，這可能也是真正犯錯(cuò)造成很大影響的一個(gè)源頭了。因此我會要求新員工一定要有敬畏心來做半導(dǎo)體事業(yè)，容不了一點(diǎn)點(diǎn)疏忽。

幻實(shí)（主播）：對人才的要求也是蠻高的，不是說撿到籃子里的都是菜，需要你們親自來帶教，把它傳承下去。

林堅(jiān)（嘉賓）：對，現(xiàn)在半導(dǎo)體人才缺口很大，很希望有多年半導(dǎo)體工作經(jīng)歷的創(chuàng)業(yè)者和他們的平臺能夠慢慢去承擔(dān)培訓(xùn)的工作。例如我們會搭起來一些傳輸?shù)哪K去跟客戶做互動，因?yàn)橐慌_幾百萬的真機(jī)器是要一直跑貨的，不可能停下來10個(gè)小時(shí)讓人學(xué)，那樣成本太高了。但搭好的測試平臺閑置著不會損失什么，派過來的工程師我們可以教，最多付我們一點(diǎn)教學(xué)的費(fèi)用。這個(gè)費(fèi)用不算貴，相比一臺停下來的量產(chǎn)設(shè)備，假設(shè)一個(gè)小時(shí)能賺10萬塊，停十個(gè)小時(shí)100萬就沒有了，但付我們一兩萬，我們就能全程教學(xué)。這種培訓(xùn)并不在現(xiàn)場，否則萬一撞壞了損失更大?，F(xiàn)在一般這種互動我們跟客戶都是很愿意做的。

專訪現(xiàn)場，林總介紹人才培訓(xùn)方法

幻實(shí)（主播）：真的很稀缺，有這樣的一個(gè)開放的心態(tài)跟客戶去做，替客戶去想，我覺得之前還沒怎么聽到過。所以關(guān)注我們節(jié)目的朋友如果你們遇到這類需要培訓(xùn)的任務(wù)，也不妨試試和泓滸這邊做一個(gè)交流。

林堅(jiān)（嘉賓）：我們一定會全身心的去做這件事情，因?yàn)槲覀冇X得傳送本身就像芯片揭秘一樣——芯片這個(gè)行業(yè)確實(shí)讓很多人覺得難以介入，但是揭秘多了，你就能發(fā)現(xiàn)也不外乎是那些東西，大家要把稱之為護(hù)城河的高科技行業(yè)里的東西慢慢撥開，這樣能夠讓更多的人真正去了解行業(yè)需求，讓更多的人參與進(jìn)來。

當(dāng)下國家確實(shí)在這個(gè)行業(yè)中碰到了困難，需要做過的、沒做過的都跨入到這一行里來做點(diǎn)研究，甚至有一些資本的投入來加速賽道的成熟。從這個(gè)角度來說泓滸責(zé)無旁貸，我們愿意在這一塊去分享，我一直認(rèn)為技術(shù)是越討論越強(qiáng)大的，而越保守技術(shù)越不能很快成長。

兩個(gè)高手彼此過招，你愿意把招數(shù)使出來，那么大家就都可以成長，下次就能知道怎么去避免這些錯(cuò)誤，知道不同的解法，最終兩個(gè)人都同時(shí)成長。這種成長對中國半導(dǎo)體來說就是整體的成長，從而慢慢追平或超越國際水平。但現(xiàn)在大家還都是藏著掖著，水平不夠。重復(fù)投資和建設(shè)有什么意思？都在各自領(lǐng)域里好好去做，做透賽道，賽道起來了，在里面的公司才可以一起進(jìn)步。很多技術(shù)靠防是防不住的，只能憑借自身往前發(fā)展，讓人家去追隨，這樣才算厲害。如果一直想藏著自己的技術(shù)，早晚人家也能學(xué)會，也會被替代，因?yàn)檫@不是核心競爭力，只不過你比人家做的早一點(diǎn)而已。

談優(yōu)勢：會修也會造，

深耕半導(dǎo)體核心零部件研發(fā)

幻實(shí)（主播）：半導(dǎo)體里有“頭部通吃”這個(gè)說法，設(shè)備這個(gè)領(lǐng)域里也是“頭部通吃”嗎？你們是從哪一年開始準(zhǔn)備的？現(xiàn)在進(jìn)展怎么樣？

林堅(jiān)（嘉賓）：設(shè)備基本上也是“頭部通吃”，比如國家現(xiàn)在投資的這幾個(gè)賽道，一旦有人第一個(gè)做出來了，第二名、第三名再去做就有點(diǎn)困難，因?yàn)橘Y源都集中在頭部，你需要先把頭部一家一家地沖擊和攻克掉。做傳輸也是一樣，在國家比較缺國產(chǎn)設(shè)備的契機(jī)之下，我們?nèi)ププ∵@個(gè)機(jī)會，基于原本對國外設(shè)備核心點(diǎn)的了解來做一些集成、維護(hù)和解決方案，為賽道賦能，同時(shí)也可以在這個(gè)過程中享受半導(dǎo)體快速成長的紅利。

我們從2011年就出來創(chuàng)業(yè)，一直在半導(dǎo)體行業(yè)做。原來從事貿(mào)易賺點(diǎn)錢，后來做工程、去修東西，這條路走得還是比較踏實(shí)。目前已經(jīng)連續(xù)三年?duì)I收達(dá)到三倍的增長，去年是4,800萬，今年年底我們做到1.5個(gè)億，這個(gè)成績在任何行業(yè)都是很難的，只有在半導(dǎo)體里才能實(shí)現(xiàn)。

去年有一個(gè)很大的突破，我們在去年8月成功交付給臺灣兩臺Sorter（晶圓傳送機(jī)）產(chǎn)品，貨已經(jīng)到了臺積電。能進(jìn)入到臺積電供應(yīng)鏈的國產(chǎn)設(shè)備商是少有的，在傳輸賽道泓滸肯定是第一家，從這一點(diǎn)來講泓滸的產(chǎn)品是被市場充分認(rèn)可的，也有機(jī)會在后續(xù)能夠做更多的突破。

幻實(shí)（主播）：算不算你實(shí)現(xiàn)自己的一個(gè)人生小目標(biāo)了？得到了一個(gè)行業(yè)內(nèi)頭部客戶的認(rèn)可。

林堅(jiān)（嘉賓）：對泓滸而言算是一個(gè)節(jié)點(diǎn)，對我們有非常大的鼓勵(lì)，所以也很感謝團(tuán)隊(duì)。原來臺積電的項(xiàng)目實(shí)際上是研發(fā)一個(gè)定制款，我們從定制開始溝通，到最后給了我們30天的時(shí)間，然后我和團(tuán)隊(duì)沒日沒夜的48小時(shí)輪軸轉(zhuǎn)，最后用了28天生產(chǎn)出來。當(dāng)時(shí)是在機(jī)場等著我們的，所以延誤一分鐘都不行。最終提前兩天給到了臺積電，他們也非常認(rèn)同我們在這件事情上的配合度跟專業(yè)度。我覺得國內(nèi)其實(shí)不乏這種能夠做出一些好的產(chǎn)品、好的服務(wù)的公司，我相信泓滸只是國產(chǎn)設(shè)備商里面一個(gè)典型。很多公司也有這樣的能力和魄力去做這件事情，我們是可以拼了命去做國產(chǎn)化設(shè)備的。

泓滸半導(dǎo)體的國產(chǎn)化設(shè)備

幻實(shí)（主播）：泓滸的優(yōu)勢集中在哪兒？下一步的規(guī)劃是什么？

林堅(jiān)（嘉賓）：我們的優(yōu)勢在于可以讓半導(dǎo)體廠里努力造晶圓的人把他們的精力聚焦到一些重點(diǎn)的process（制程）腔體上，而這些細(xì)分的、平時(shí)不怎么能接觸到的難題，我們來幫他解決，不再需要看別人的臉色，也不用再擔(dān)心找不到探討問題的人。

一般來說，只要在傳輸設(shè)備上有宕機(jī)問題找到我們，我們都可以及時(shí)地來做一些分析探討，基本80%到90%的問題能快速鎖定并解決。況且，國產(chǎn)廠商一定會比海外大公司的報(bào)價(jià)低很多，所以這方面對大家來說都是雙贏的局面。對客戶來講，產(chǎn)能很快就能釋放出來，此外成本又很低，相比KT或者其他大公司的售價(jià)，我們肯定要低很多，所以對我們來說這也是個(gè)非常好的事業(yè)?？傮w來看，我們維修這些設(shè)備的量還是很可觀的，一個(gè)fab可能down的不多，但是全國甚至未來可能要走向全球的晶圓廠，這個(gè)體量就很可觀了。

不僅如此，維修技術(shù)目前來看是毛利不錯(cuò)的一個(gè)項(xiàng)目，對泓滸目前做的傳輸細(xì)分賽道還是很有幫助的。原本我們單純?yōu)榱舜婊钕聛?，學(xué)點(diǎn)技術(shù)，做點(diǎn)生意賺一點(diǎn)錢，現(xiàn)在慢慢從維修切入到設(shè)備的整個(gè)集成。例如目前我們就面向fab廠推出了Sorter（晶圓傳片機(jī)），面向主設(shè)備商推出了EFEM（主設(shè)備前置模塊）。未來泓滸的產(chǎn)品和服務(wù)會貫穿整個(gè)傳輸賽道里，從設(shè)備的集成到核心部件的生產(chǎn)、研發(fā)、銷售及后續(xù)的售后，不僅是我們自己產(chǎn)品的售后，這個(gè)產(chǎn)品我們已經(jīng)很穩(wěn)定，還會做更多國外設(shè)備傳送機(jī)器人的售后，給客戶提供服務(wù)。

今年我們完成融資后，會把一些融資的錢投入到核心的零部件研發(fā)中。我們希望資本跟進(jìn)來以后能支持后續(xù)在核心部件研發(fā)上面持續(xù)地往下深挖。事實(shí)上雖然Sorter我們是國產(chǎn)化，但核心部件Robot還是用日本的。接下來我們要做核心部件的國產(chǎn)化，今年下半年已經(jīng)有SMIF 8吋的產(chǎn)品，有了自己的OCR（晶圓讀碼機(jī)）和Pre-aligner（中心定位校準(zhǔn)器），Robot（機(jī)器人）都會國產(chǎn)化。

我們發(fā)現(xiàn)目前自己做Robot里面的核心部件，像減速器也好，軸承也好，不敢隨便替換成國內(nèi)的供應(yīng)商來做。目前修的時(shí)候會碰到很多一線和二線品牌的Robot，拆完才發(fā)現(xiàn)里面的減速器大部分是哈默納科（Harmonic），皮帶大部分是優(yōu)霓塔(UNITTA) 的，為什么沒有選其他家的，可能就是因?yàn)樗麄兗夷茏龅淖詈谩?/span>

從保守的角度來說，現(xiàn)在這些部件我還是用國外的。也就是說即使Robot國產(chǎn)了，核心部件還是國外的，所以下一步還是要繼續(xù)向下深挖。什么時(shí)候國內(nèi)的減速機(jī)可以對標(biāo)哈默納科（Harmonic），軸承可以對標(biāo)日本IKO、THK公司這些國外的品牌，這個(gè)時(shí)候才真的是能夠做到國產(chǎn)化了。

幻實(shí)（主播）：這是基礎(chǔ)工業(yè)整體的提升，是主機(jī)廠在提升。

林堅(jiān)（嘉賓）：所以我覺得這條路還是蠻漫長的。現(xiàn)在大家做出來的一些品牌，國產(chǎn)的設(shè)備里很多備件是國外的，就算能夠做出備件以后，備件里的核心配件也還是國外的。其實(shí)我嘗試過國內(nèi)的一些軸承廠商的產(chǎn)品，用了半年或一年磨損就很厲害。后來去深度研究了國外的軸承，里面鋼的材料他們的退火工藝就做得非常好。同樣牌號的鋼，可能中國牌號要比日本的下一級牌號還不如，事實(shí)上無論是質(zhì)量還是耐用性各方面都沒有他們下一個(gè)等級的好?，F(xiàn)在很多時(shí)候我們在國內(nèi)選材時(shí)，都要求購買比我們原來測出來的鋼更高一級的，這樣才能用。工業(yè)里面其實(shí)最終還是鎖在材料這一環(huán)上。

日本在這方面做了很多年的研究，所以他們對材料里很多核心技術(shù)最難解、看不到的東西，例如配方、退火工藝、在哪個(gè)溫度下鍛造都很清楚。這是很關(guān)鍵的，能保證最后出來的材料耐磨耐用。

作為我們泓滸來說，接下來在賽道里我們至少知道這些東西的點(diǎn)在哪里，無論是找合作伙伴還是自己用實(shí)力繼續(xù)往下深究，最終的核心都是要把這些材料給破解掉。

幻實(shí)（主播）：對大家來說，中國要做國產(chǎn)化的東西真的是任重道遠(yuǎn)。我覺得像泓滸這樣的公司越來越多之后，國產(chǎn)的底層材料商才會越來越有機(jī)會，否則他們永遠(yuǎn)沒有市場，有你們在他們才有市場，才能活下去。

林堅(jiān)（嘉賓）：泓滸的成長，就是因?yàn)閒ab廠給了我們機(jī)會。其實(shí)很多材料商也在這個(gè)行業(yè)一直做研究，知道半導(dǎo)體的訴求在哪里。我們作為真正用這些材料的，如果在這一塊能提供一些對標(biāo)的產(chǎn)品給他，告訴他們一些技術(shù)指標(biāo)的要求，讓他們朝著這個(gè)方向去努力，我相信以中國人的勤勞和智慧，未來雖不能太自信，但也不必太悲觀。其實(shí)只要中國能真的把一些產(chǎn)品的性能指標(biāo)提出來，方向提出來，我相信我們很快就能夠見到真正國產(chǎn)的減速器、國產(chǎn)的軸承，這些都能做得很好。

幻實(shí)（主播）：期待這一天。謝謝林總跟我們分享了這么多，也歡迎您以后有更多的好消息以及產(chǎn)業(yè)的進(jìn)展，再來我們這里做客。

林堅(jiān)（嘉賓）：謝謝芯片揭秘，也希望芯片的這層神秘的面紗通過這個(gè)節(jié)目真的把它一層一層的揭開，讓半導(dǎo)體和芯片不再神秘，我們一起努力。

現(xiàn)場合影 泓滸半導(dǎo)體執(zhí)行總裁林堅(jiān)先生（圖左）和幻實(shí)（圖右）

目前，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率仍然處于較低水平，在環(huán)境和政策的推動下，國產(chǎn)替代進(jìn)程也將加速。SEMI數(shù)據(jù)顯示，2021年國內(nèi)12吋產(chǎn)能增加21萬片，2022-2024年12吋擴(kuò)產(chǎn)產(chǎn)能將達(dá)到95萬片/月。照此增量預(yù)測，未來Sorter擁有數(shù)十億市場，EFEM和VTM更是各自擁有數(shù)百億級的市場。市場有了，還要有對應(yīng)的優(yōu)質(zhì)材料去支撐和服務(wù)，這仍需要上下游企業(yè)的互相信任和通力合作。從零部件貿(mào)易慢慢衍生至國產(chǎn)化裝備及核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，泓滸半導(dǎo)體這幾年一直在走一條穩(wěn)扎穩(wěn)打的路。我們相信，國產(chǎn)替代不僅靠情懷更靠實(shí)力，手握自主可控的核心技術(shù)永遠(yuǎn)是顛撲不破的真理。