光譜共焦如何測量玻璃基板厚度

玻璃基板在我們生活工作中很多顯示元器件都能經(jīng)常看到，這是一個(gè)表面及其平整的薄玻璃片，目前在商用的玻璃基板的厚度0.7 mm及0.5m m，還有其用于特殊領(lǐng)域的超薄玻璃，因此對于其精度要求是非常高的。

光譜共焦如何測量玻璃基板厚度

那么如何測量玻璃基板厚度呢？

傳統(tǒng)的測量接觸式測量不僅精度無法保證，而且很容易對玻璃表面造成二次傷害，那么有什么辦法呢？2014年深圳立儀科技有限公司自主研發(fā)處理非接觸式測量光譜共焦位移傳感器。光譜共焦傳感器具有高精度、高穩(wěn)定性、大角度、高采樣頻率等測量特性，對于塑料薄膜、玻璃、高光金屬等透明或不透明的鏡面/半鏡面反射材料，以及多層透明材料厚度測量具有特有優(yōu)勢。

光譜共焦傳感器根據(jù)不同材料測量需求，可采用單測頭測厚儀或雙測頭測量。對于透明材料多采用單測頭測量。

由于玻璃基板厚度非常薄，而厚度尺寸管控又非常嚴(yán)格，一般在0.01mm的公差，主要準(zhǔn)確地測量玻璃厚度、翹曲和平行度。采用立儀光譜共焦傳感器很好的解決這一難題并防止了二次損傷。