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臺積電公布N2 2nm缺陷率:比3/5/7nm都要好
- 4月26日消息,在近日舉辦的北美技術(shù)論壇上,臺積電首次公開了N2 2nm工藝的缺陷率(D0)情況,比此前的7nm、5nm、3nm等歷代工藝都好的多。臺積電沒有給出具體數(shù)據(jù),只是比較了幾個工藝缺陷率隨時間變化的趨勢。臺積電N2首次引入了GAAFET全環(huán)繞晶體管,目前距離大規(guī)模量產(chǎn)還有2個季度,也就是要等到年底。N2試產(chǎn)近2個月來,缺陷率和同期的N5/N4差不多,還稍微低一點,同時顯著優(yōu)于N7/N6、N3/N3P。從試產(chǎn)到量產(chǎn)半年的時間周期內(nèi),N7/N6的綜合缺陷率是最高的,N3/N3P從量產(chǎn)開始就低得多了,
- 關(guān)鍵字: 臺積電 N2 2nm 缺陷率 3nm 5nm 7nm
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