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制作壓力傳感器中用到的簡易雙面光刻對準技術(shù)

  • 在壓力傳感器的微細加工技術(shù)中要求在樣品背面的掩膜上光刻出壓力腔窗口的圖形而且與正面圖形嚴格對準。待別是在設(shè)計時必須將力敏電阻安排在膜內(nèi)；有時離開膜邊的距離僅為30P”。正反圖形錯開時，力敏電阻條對壓
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焊縫跟蹤實現(xiàn)中所用到的傳感器知識

  • 傳感器是一種高精度檢測儀器，在軍事、航空、航天中應用都有嚴格要求，產(chǎn)品都須經(jīng)過嚴格測試才能應用。所以傳感器生產(chǎn)是一種高新技術(shù)的具體運用和體現(xiàn)。一種傳感器是否有較高的技術(shù)附加值體現(xiàn)在所包含的技術(shù)含量和加
  • 關(guān)鍵字： 知識  傳感器  用到  實現(xiàn)  跟蹤  
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