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EEPW首頁 >> 主題列表 >> mems開關

發(fā)動機燃燒過程監(jiān)測和氣缸蓋墊壓力傳感器

TMP05/06型溫度傳感器及其應用

電容式液位變送器在合成高壓液位測控中的作用

非接觸位移測量的直線位移傳感器

光柵莫爾條紋技術的發(fā)展

一種硬件細分方法的研究與應用

光纖傳感器的今日與發(fā)展

一種新型懸浮陀螺式質量流量計的研究

傳感器技術在生產(chǎn)實踐中的應用

基于DSP的陀螺加速度計數(shù)字伺服回路研究

氣體傳感器在氣體泄漏事故處置中的應用

智能自動化及其在儀器儀表中的應用

傳感器在設施農(nóng)業(yè)中的應用

加速傳感器ADXL150特性及其精度影響因素

光柵傳感器在位移自動測量系統(tǒng)中的應用

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mems開關介紹

MEMS開關就是MEMS技術的具體應用。顧名思義,開關就是來控制電路通斷狀況的，高效、快速反應、準確、重復使用頻率、高可靠性是現(xiàn)代電路系統(tǒng)對開關的特殊要求。MEMS開關的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson，隨后經(jīng)過了二十幾年的發(fā)展，由于薄膜的柔軟和變形，MEMS開關始終沒有取得人們預期的成績。隨著通訊頻率的不斷增高，現(xiàn)有的半導體開關因不能滿足頻率的升高而失去開關能力。MEMS開關的 [ 查看詳細 ]

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