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基于MEMS的硅微壓阻式加速度傳感器的設(shè)計(jì)

硅微加速度傳感器是。MEMS器件中的一個(gè)重要分支，具有十分廣闊的應(yīng)用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應(yīng)快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點(diǎn)，而且該種傳感器在強(qiáng)輻射作用下能正常工作，使其近年來發(fā)展迅速
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MEMS麥克風(fēng)市場放量發(fā)展，樓氏電子仍是主導(dǎo)

　　據(jù)iSuppli公司研究，盡管在2009年放緩，但由于受到手機(jī)和其他應(yīng)用的青睞，2008-2013年微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)麥克風(fēng)的全球出貨量有望增長兩倍以上。預(yù)計(jì)2013年全球MEMS麥克風(fēng)出貨量將達(dá)到11億個(gè)，遠(yuǎn)高于2008年時(shí)的3.285億個(gè)。雖然這種增長前景非常強(qiáng)勁，但預(yù)計(jì)2009年出貨量增長減速且全球營業(yè)收入下降，這將是該市場歷史上的首次收縮。　　MEMS麥克風(fēng)是通過微機(jī)電技術(shù)在半導(dǎo)體上蝕刻壓力感測膜片而制成的微型麥克風(fēng)，普遍應(yīng)用在手機(jī)、耳機(jī)、筆記本電腦、攝像機(jī)和汽車。
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2013年MEMS麥克風(fēng)出貨量將上升到10億個(gè)

　　據(jù)iSuppli公司，盡管在2009年放緩，但由于受到手機(jī)和其他應(yīng)用的青睞，2008-2013年微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)麥克風(fēng)的全球出貨量有望增長兩倍以上。　　預(yù)計(jì)2013年全球MEMS麥克風(fēng)出貨量將達(dá)到11億個(gè)，遠(yuǎn)高于2008年時(shí)的3.285億個(gè)。雖然這種增長前景非常強(qiáng)勁，但預(yù)計(jì)2009年出貨量增長減速且全球營業(yè)收入下降，這將是該市場歷史上的首次收縮。　　MEMS麥克風(fēng)是通過微機(jī)電技術(shù)在半導(dǎo)體上蝕刻壓力感測膜片而制成的微型麥克風(fēng)，普遍應(yīng)用在手機(jī)、耳機(jī)、筆記本電腦、攝像機(jī)和汽車。　　&ldq
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微型傳感器創(chuàng)新不斷，無線市場快速成長

　　據(jù)有關(guān)報(bào)告顯示，2008年全球傳感器市場規(guī)模為506億美元，而到2010年預(yù)計(jì)全球傳感器市場則可達(dá)600億美元以上。近些年來，與半導(dǎo)體工藝的融合成為推動(dòng)傳感器發(fā)展的一個(gè)重要?jiǎng)恿?，這種融合使傳感器的性能更加強(qiáng)大，而體積卻越來越小，催生出微型傳感器。微型傳感器的出現(xiàn)使原本在很多不能應(yīng)用傳感器的領(lǐng)域得以應(yīng)用傳感器件，從而為系統(tǒng)產(chǎn)品的智能化提供了條件。與此同時(shí)，傳感器應(yīng)用領(lǐng)域的拓展帶來了更多的市場需求。近些年來，基于MEMS等技術(shù)的新興微型傳感器如加速度傳感器、角速度傳感器、無線傳感器、生物傳感器、光傳感器等
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電子書與微投影市場蓄勢待發(fā)，MEMS銷售火爆

　　電子書與微型投影兩大熱門應(yīng)用漸受歡迎，系統(tǒng)商為突顯產(chǎn)品的差異化，紛紛加碼投資新功能，遂引爆MEMS加速度計(jì)、麥克風(fēng)、掃描鏡、振蕩器等組件需求熱潮，因此，也吸引MEMS供貨商競相推出小體積、高效能、低功耗及低成本方案，以爭食市場大餅。　　繼智能型手機(jī)、游戲機(jī)與MP3播放器之后，近期，全球最大電信運(yùn)營商中國移動(dòng)宣布進(jìn)軍電子書市場，再加上三星(Samsung)和尼康(Nikon)于年中先后推出全球首款微型投影手機(jī)與微型投影數(shù)碼相機(jī)，再次炒熱微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的應(yīng)用話題。其中，隨著電子閱讀器熱賣，將帶
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SEMI發(fā)布新標(biāo)準(zhǔn)用于鑒別偽劣半導(dǎo)體產(chǎn)品

　　SEMI發(fā)布了三項(xiàng)適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的新標(biāo)準(zhǔn)。這兩項(xiàng)新標(biāo)準(zhǔn)通過驗(yàn)證來自非認(rèn)證分銷商產(chǎn)品的完整性來識(shí)別產(chǎn)品真?zhèn)巍＿@些新標(biāo)準(zhǔn)可使受信制造商使用加密條碼。通過使用免費(fèi)的認(rèn)證服務(wù)，任何人只要想識(shí)別所采購的產(chǎn)品，都可以使用加密條碼，用于認(rèn)證檢查。安全認(rèn)證對于偽劣產(chǎn)品有強(qiáng)烈的威懾作用，此外目前還有一個(gè)早期警告系統(tǒng)，以防條碼被盜。　　此外，還有三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)也已經(jīng)可以使用，可同時(shí)適用于半導(dǎo)體及MEMS產(chǎn)業(yè)。
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微型傳感器市場看漲消費(fèi)無線成新熱點(diǎn)

2006-2010年MEMS手機(jī)市場規(guī)模單位：百萬美元　　采用新型技術(shù)與工藝的微型傳感器，拓展了應(yīng)用領(lǐng)域，滿足了更高的要求，成為推動(dòng)傳感市場發(fā)展的動(dòng)力。　　據(jù)有關(guān)報(bào)告顯示，2008年全球傳感器市場規(guī)模為506億美元，而到2010年預(yù)計(jì)全球傳感器市場則可達(dá)600億美元以上。近些年來，與半導(dǎo)體工藝的融合成為推動(dòng)傳感器發(fā)展的一個(gè)重要?jiǎng)恿?，這種融合使傳感器的性能更加強(qiáng)大，而體積卻越來越小，催生出微型傳感器。微型傳感器的出現(xiàn)使原本在很多不能應(yīng)用傳感器的領(lǐng)域得以應(yīng)用傳感器件，從而為系統(tǒng)產(chǎn)
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全球MEMS晶圓代工2011年將重返2位數(shù)成長力道

　　Yole Developpmemt全球執(zhí)行長Jean-Christophe ELOY表示，受到全球金融風(fēng)暴影響，全球MEMS晶圓代工自2011年將重返過去20%年平均成長力道，此外，他認(rèn)為臺(tái)積電(TSMC)、聯(lián)電 (UMC)未來于MEMS晶圓代工市場上將大有可為。對先前全球MEMS設(shè)備大廠STS將購并Aviza一事，他認(rèn)為對于全球MEMS設(shè)備市場影響有限，但需對應(yīng)用材料(Applied)進(jìn)入MEMS市場一事提高注意，以下為此次專訪記要：　　問：臺(tái)積電及聯(lián)電近來市場不斷傳出將大舉進(jìn)軍MEMS晶圓代工
關(guān)鍵字：臺(tái)積電晶圓代工 MEMS

中芯國際宣布 MEMS 芯片成功通過 Microstaq 驗(yàn)證

　　中芯國際集成電路制造有限公司(中芯國際)和全球領(lǐng)先的基于硅 MEMS 的流體控制開發(fā)商 Microstaq 今日宣布，Microstaq 的基于VentilumTMMEMS 的芯片已成功通過驗(yàn)證。　　“我們已接受過性能規(guī)格的 die and run 內(nèi)部測試”，Microstaq 工程部副總裁 Mark Luckevich 表示，“Ventilum 芯片通過了最高級別的認(rèn)證，我們正期待著這項(xiàng)技術(shù)應(yīng)用于暖通空調(diào)和制冷市場。” 　　“這是一
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臺(tái)灣MEMS制造商TMT公司收購美國Miradia公司

　　臺(tái)灣MEMS制造商TMT(Touch Micro-system Technology)已經(jīng)獲得總部設(shè)在加州的制造商Miradia公司100 %的股份，以利用后者的專利技術(shù)將其業(yè)務(wù)從基本的MEMS代工轉(zhuǎn)變?yōu)镸EMS調(diào)制解調(diào)器。這一轉(zhuǎn)變很可能是臺(tái)積電(TSMC)和聯(lián)華電子(UMC)準(zhǔn)備大舉跨入MEMS生產(chǎn)行列的信號(hào)。　　據(jù)悉，臺(tái)積電和聯(lián)華電子已在2008年下半年完成了MEMS相關(guān)設(shè)備的部署，預(yù)計(jì)即將在今年下半年開始批量生產(chǎn)。
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星載MEMS原子鐘穩(wěn)頻系統(tǒng)的優(yōu)化及實(shí)驗(yàn)研究

1 引言
相干布居俘獲CPT(Coherent Population Trapping)是原子與相干光相互作用所產(chǎn)生的一種量子干涉現(xiàn)象。利用高分辨CPT光譜研制出的被動(dòng)型CPT原子頻標(biāo)具有體積小、功耗低、啟動(dòng)快等特點(diǎn)。CPT頻標(biāo)是原理上唯一
關(guān)鍵字： MEMS 星載穩(wěn)頻實(shí)驗(yàn)

從CEATEC看2010電子大勢(五)

目前有愈來愈多的行動(dòng)設(shè)備上配置了運(yùn)動(dòng)傳感器，最常見的是加上一顆加速度傳感器，用來自動(dòng)旋轉(zhuǎn)畫面。傳感器的技術(shù)正快速的在進(jìn)步中，在應(yīng)用上對于人類的生活具有顛覆性的影響力
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iSuppli：MEMS麥克風(fēng)出貨量2013年將突破10億個(gè)

　　據(jù)iSuppli預(yù)估，盡管歷經(jīng)2009年的衰退，但在移動(dòng)手持裝置與其它類似應(yīng)用的強(qiáng)力驅(qū)動(dòng)下，2008至2013年，全球微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)麥克風(fēng)仍預(yù)計(jì)將成長三倍以上。　　2013年，全球MEMS麥克風(fēng)出貨量將從2008年的3.285億個(gè)成長至11億個(gè)。不過，在2009年期間，由于經(jīng)歷了史上罕見的全面性衰退，MEMS麥克風(fēng)的強(qiáng)勁成長態(tài)勢將會(huì)減緩。　　MEMS麥克風(fēng)是通過微機(jī)電技術(shù)在半導(dǎo)體上蝕刻壓力感測膜片而制程的微型麥克風(fēng)，普遍應(yīng)用在手機(jī)、筆記型計(jì)算機(jī)、數(shù)字?jǐn)z影機(jī)與車用裝置上。　　&ldq
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下一代無線傳感進(jìn)一步向前發(fā)展

　　說到游戲業(yè)，你會(huì)發(fā)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)傳感目前處于技術(shù)最前沿。當(dāng)今的領(lǐng)先游戲平臺(tái)(及后續(xù)產(chǎn)品)均包含無線傳感手持遙控器。這種運(yùn)動(dòng)傳感遙控器可用來表現(xiàn)現(xiàn)實(shí)生活中的各種運(yùn)動(dòng)器材，如球拍、劍和方向盤。　　當(dāng)今的無線傳感遙控器　　當(dāng)今的動(dòng)作游戲控制器中集成動(dòng)作傳感功能，使紅外線LED與遙控上的光傳感器協(xié)同工作，這樣它就可以作為一個(gè)精確的定點(diǎn)設(shè)備(可達(dá)5m)。該控制器需要兩節(jié)AA電池作為電源，如果僅為加速計(jì)提供電源，電池的使用壽命可達(dá)60小時(shí);而如果同時(shí)給加速計(jì)和指示器提供電源，電池的使用時(shí)間則只有25小時(shí)。　　
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國內(nèi)外儀器儀表行業(yè)目前水平及發(fā)展趨勢分析

　　儀器儀表行業(yè)是我國發(fā)展的新型行業(yè)，在與國際接軌的同時(shí)，我國的儀器儀表行業(yè)發(fā)展有了長足的進(jìn)步空間具備了與國際競爭的實(shí)力。　　國內(nèi)科技目前水平及發(fā)展趨勢　　儀器儀表行業(yè)整體綜合技術(shù)水平達(dá)到國際80年代中期水平，微電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)在儀器儀表產(chǎn)品中普遍采用，約15%的產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了智能化，達(dá)到國際90 年代水平;30%的產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了數(shù)字化，達(dá)到國際80年代末期水平。綜合服務(wù)能力顯著提：可以承接30萬-60萬千瓦火電站、核電站、30萬噸合成氨、 120噸轉(zhuǎn)爐、日產(chǎn)30萬立方米城市煤氣站工程、成套大型爐窯等
關(guān)鍵字：儀器儀表 MEMS DSP