- MEMS是受微電子技術啟發(fā)并在其基礎上發(fā)展起來的，是微電子加工技術和多種微機械加工技術相融合而形成的微型系統(tǒng)。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、生、磁、化等)的微傳感器、控制對象的微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。MEMS具有集成電路系統(tǒng)的許多優(yōu)點，如微型化、以硅為主要材料，機械電氣性能優(yōu)良、可批量生產(chǎn)、集成化等，同時又集約了機械、材料、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科發(fā)展的尖端成果，具有多學科交叉，多技術融合的特點。
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醫(yī)療電子 MEMS
- 在二十世紀90年代早期，汽車安全氣囊系統(tǒng)就開始大量采用MEMS加速度計。在其后的十年中，MEMS技術的第二次應用浪潮被掀起。期間，MEMS技術被大量應用，產(chǎn)品種類逐漸增多，相關技術被應用到各行各業(yè)。第二代技術和產(chǎn)品取代了前者，并很快成為主流。據(jù)統(tǒng)計，汽車傳感器市場在2009年規(guī)模就達到了25億美元。2004至2009年間，全球汽車傳感器市場的年復合增長率已經(jīng)達到了9%左右。而今，第三次MEMS應用浪潮正在逼近，越來越多的MEMS加速度計和陀螺儀將被用于更多更新的技術領域。
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傳感器 MEMS
- 盡管2009年全球經(jīng)歷了空前的經(jīng)濟危機，但是MEMS市場并沒有受到影響，市場總值幾乎與2008持平，出貨量比2008年...
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MEMS 地磁 陀螺儀 加速計 角速度
- MEMS加速度計在聲學拾音器中的應用, 引言 MEMS1 (微機電系統(tǒng))利用專為半導體集成電路所開發(fā)的制造工藝設施實現(xiàn)生產(chǎn)制造。微機電結構的實現(xiàn)方法是通過在半導體基片上刻蝕特定的圖形，來實現(xiàn)傳感器單元或者可以移動零點幾微米的機械執(zhí)行器。MEMS壓
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應用 聲學 加速度計 MEMS
- RF MEMS開關存在驅動電壓高、開關時間長等問題，利用ANSYS對電容式開關加以改進，設計扭轉臂杠桿與打孔電容膜相結合的新型開關。通過靜電耦合與模態(tài)分析的仿真，可以在理論上改善RF MEMS開關的射頻性能，并有工藝的可行性。
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設計 模擬 開關 MEMS 驅動 RF 低壓
- 在二十世紀90年代早期，汽車安全氣囊系統(tǒng)就開始大量采用MEMS加速度計。在其后的十年中，MEMS技術的第二次應用浪潮被掀起。期間，MEMS技術被大量應用，產(chǎn)品種類逐漸增多，相關技術被應用到各行各業(yè)。第二代技術和產(chǎn)品取代了前者，并很快成為主流。據(jù)統(tǒng)計，汽車傳感器市場在2009年規(guī)模就達到了25億美元。2004至2009年間，全球汽車傳感器市場的年復合增長率已經(jīng)達到了9%左右。而今，第三次MEMS應用浪潮正在逼近，越來越多的MEMS加速度計和陀螺儀將被用于更多更新的技術領域。
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MEMS 汽車傳感器
- MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)，目前MEMS加工技術又被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領域，從而進行生物化學等實驗
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MEMS 什么
- 【題記：現(xiàn)在市面上最新推出的智能手機，如果還沒有集成MEMS傳感器，那么就不能稱之為一款嚴格意義上的智能手機。二十年前，MEMS還僅用于軍用領域;十年前，汽車領域開始大規(guī)模拓展MEMS應用，而今，隨著便攜技術的發(fā)展以及其他交互式體驗的要求，MEMS已經(jīng)走入了大眾消費者的視野。】
飛思卡爾：整合更多功能 推業(yè)界最低功耗加速度傳感器
Xtrinsic，這個與extrinsic(中文含義：外在的)僅有一字之差的詞，被飛思卡爾賦予了新的含義：不僅僅是轉換外部信號，而是更加智能的情景轉換。Xtrin
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MEMS 傳感器 智能手機
- Imec臺灣日前與臺灣“經(jīng)濟部”簽署了合資成立Imec臺灣創(chuàng)新中心(ITIC)的協(xié)議。ITIC的目標是促進產(chǎn)業(yè)界與學術界的應用研究項目，提供電子設計、元器件和技術方案。新的研發(fā)中心將關注于一系列不同的創(chuàng)新性應用，如生物電子、MEMS以及通過3D系統(tǒng)封裝設計和系統(tǒng)級方案實現(xiàn)的“綠色”電子。
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Imec MEMS
- 我國傳感器和儀器儀表的技術和產(chǎn)品，經(jīng)過發(fā)展，有了較大的提高。但與國外相比，我國傳感器和儀表元器件的產(chǎn)品品種和質(zhì)量水平，尚不能滿足國內(nèi)市場的需求，總體水平還處于國外上世紀90年代初期的水平?！ ?3)科技與生產(chǎn)脫節(jié)，影響科研成果的轉化，綜合實力較低，產(chǎn)業(yè)發(fā)展后勁不足。
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傳感器 儀器儀表 MEMS
- 如果說很多人把MCU或SoC主芯片比喻為現(xiàn)代電子系統(tǒng)的大腦，那么時鐘組件當之無愧是其心臟。無論是電子工程師還是元器件采購者，在選擇時鐘組件時都會經(jīng)過全面嚴謹?shù)脑u估。因為一顆健康、穩(wěn)定、持久的“心臟
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石英 區(qū)別 傳統(tǒng) 振蕩器 MEMS 全硅
- 智能手機應用軟件日益龐大的生態(tài)系統(tǒng)很大程度上要歸功于MEMS傳感器。事實上，由于智能手機永遠在線的互聯(lián)網(wǎng)訪問和傳感器技術的不斷發(fā)展，智能手機正在快速變成地球上最大的無線傳感器網(wǎng)絡。
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智能手機 無線傳感器 MEMS
- GLOBALFOUNDRIES今天宣布與SVTC 技術公司結成戰(zhàn)略聯(lián)盟，加速進行微機電系統(tǒng)(MEMS)的量產(chǎn)制造。這項合作著重于技術開發(fā)合作，將有助GLOBALFOUNDRIES達成目標，成為MEMS晶圓廠的領導者。
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GLOBALFOUNDRIES MEMS
- 在二十世紀90年代早期，汽車安全氣囊系統(tǒng)就開始大量采用MEMS加速度計。在其后的十年中，MEMS技術的第二次應用浪潮被掀起。期間，MEMS技術被大量應用，產(chǎn)品種類逐漸增多，相關技術被應用到各行各業(yè)。第二代技術和產(chǎn)品取代了前者，并很快成為主流。據(jù)統(tǒng)計，汽車傳感器市場在2009年規(guī)模就達到了25億美元。2004至2009年間，全球汽車傳感器市場的年復合增長率已經(jīng)達到了9%左右。而今，第三次MEMS應用浪潮正在逼近，越來越多的MEMS加速度計和陀螺儀將被用于更多更新的技術領域。
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MEMS 汽車傳感器
- 近年來，傳感器正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉型的發(fā)展階段。新型傳感器的特點是微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡化，它不僅促進了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造，而且可導致建立新型工業(yè)，是21世紀新的經(jīng)濟增長點。微型化是建立在微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術基礎上的，目前已成功應用在硅器件上形成硅壓力傳感器。
微電子機械加工技術，包括體微機械加工技術、表面微機械加工技術、LIGA技術(X光深層光刻、微電鑄和微復制技術)、激光微加工技術和微型封裝技術等。
MEMS的發(fā)展，把傳感器的微型化、智能化、多功能化
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傳感器 MEMS
mems 介紹
MEMS是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術，并應用現(xiàn)代信息技術的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。
MEMS技術的發(fā)展開辟了一個全新的技術領域和產(chǎn)業(yè)，采用MEMS技術制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構件、微機械光學器件、真空微電子器件、電力電子器件等在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾 [
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