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Edwards推出新型iXH500H干泵系列
- 全球領(lǐng)先的真空和尾氣處理設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司擴(kuò)展其廣受歡迎的應(yīng)用于嚴(yán)苛工藝的iXH產(chǎn)品系列,最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列針對(duì)需要較高氣體流量和靈活泵溫范圍的平板顯示器、太陽(yáng)能和先進(jìn)半導(dǎo)體工藝而優(yōu)化,具有較低的能耗和較長(zhǎng)的平均維護(hù)間隔時(shí)間(mean time between servicing, MTBS),從而顯著降低了擁有成本,同時(shí)具備iXH450系列的小占位面積和氫氣抽取能力。
- 關(guān)鍵字: Edwards 半導(dǎo)體 iXH500H
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