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Entegris 擴(kuò)展 VaporSorb? 過(guò)濾器系列,幫助提高半導(dǎo)體制程的良率
- Entegris, Inc.,一家為先進(jìn)制造環(huán)境提供良率提升材料和相關(guān)解決方案的領(lǐng)先企業(yè),日前發(fā)布了 VaporSorb™ 系列氣體分子污染 (AMC) 過(guò)濾器的新產(chǎn)品。此款新型的“多合一”單過(guò)濾器可在半導(dǎo)體制造的化學(xué)機(jī)械研磨 (CMP) 工藝中去除關(guān)鍵 AMC。領(lǐng)先的過(guò)濾器品牌 VaporSorb 在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產(chǎn)機(jī)臺(tái),是面向 CMP 生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的首款過(guò)濾器,可抵御弱酸以及其他污染物。 此款新型過(guò)濾器專為 CMP 機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì),可為
- 關(guān)鍵字: Entegris 半導(dǎo)體 VaporSorb
Entegris 發(fā)布新型 VaporSorb? 過(guò)濾器
- Entegris Inc.是一家為先進(jìn)制造環(huán)境提供良率提升材料和解決方案的領(lǐng)先企業(yè),公司今日發(fā)布了 VaporSorb 系列氣體分子污染 (AMC) 過(guò)濾器的衍生產(chǎn)品。VaporSorb 是領(lǐng)先的過(guò)濾器品牌,在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產(chǎn)機(jī)臺(tái)。VaporSorb 過(guò)濾器已發(fā)展為捕獲氣體有機(jī)物、堿基類和強(qiáng)酸的一體式過(guò)濾器。新型 VaporSorb TRK 添加了獨(dú)特材料,是首款不僅能夠捕獲三大核心污染物,而且還能捕獲第四類污染物(定義為弱酸的一組污染物)的過(guò)濾器。 此款新型過(guò)濾器
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