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EDWARDS IPUP2真空泵創(chuàng)立加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用新標(biāo)準(zhǔn)
- 精密真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)領(lǐng)先制造商和相關(guān)增值服務(wù)領(lǐng)先供應(yīng)商Edwards集團(tuán)有限公司(納斯達(dá)克代碼：EVAC)已經(jīng)推出了針對(duì)應(yīng)用材料公司制造平臺(tái)的加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用的全新集成式真空泵IPUP2。該第二代泵在加載互鎖抽真空時(shí)間、能耗和維護(hù)要求方面具有明顯優(yōu)勢(shì)，這些先進(jìn)性能結(jié)合起來(lái)為其帶來(lái)同類(lèi)最佳的性能和擁有成本。
- 關(guān)鍵字： Edwards IPUP2
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