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摩爾定律聲聲喚 CMP制程再精進(jìn)

  •   半導(dǎo)體元件若要追上摩爾定律速度,微縮制程就需要更新的技術(shù)相挺?;瘜W(xué)材料與電子產(chǎn)品間的關(guān)系密不可分,美商陶氏化學(xué)旗下分公司陶氏電子材料的最新制程:化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)銅制程,主訴求無研磨粒、自停(self-stopping)機(jī)制以及研磨墊,提供CMP銅制程高效能、低成本的解決方案。
  • 關(guān)鍵字: 陶氏電子  CMP制程  
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