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Mentor 宣布推出適用于三星 8LPP 和 7LPP 工藝技術(shù)的工具和流程

  •   Siemens 業(yè)務(wù)部門 Mentor 今天宣布,已與三星電子合作推出各種適用于三星 8LPP 工藝技術(shù)的 Mentor 設(shè)計(jì)和驗(yàn)證工具及流程。在 EUV 光刻時(shí)代到來(lái)之前,最具競(jìng)爭(zhēng)力的擴(kuò)展優(yōu)勢(shì)將源于 8LPP。相較于 10LPP 工藝,8LPP 的性能實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步提升。針對(duì) 8LPP 推出的工具包括 Calibre? 物理驗(yàn)證套件、
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