248nm 文章 進(jìn)入248nm技術(shù)社區(qū)

248nm增透膜國(guó)際領(lǐng)先：準(zhǔn)分子激光器應(yīng)用擴(kuò)展

• 　　248nm準(zhǔn)分子激光器技術(shù)由于輸出波長(zhǎng)短、能量高、具有窄的脈寬和很高的峰值功率，在工業(yè)、國(guó)防等方面，尤其是高功率激光系統(tǒng)包括248nm光刻技術(shù)、激光醫(yī)療、激光精細(xì)加工中具有極廣的應(yīng)用前景，也是ICF領(lǐng)域一個(gè)重要的技術(shù)選項(xiàng)。248nm薄膜元件是準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)中重要的薄膜元器件，其光學(xué)損耗和抗激光損傷性能對(duì)激光系統(tǒng)的效率起著重大或決定性的作用。 　　中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所研究了LaF3、MgF2、Al2O3和SiO2薄膜的低吸收、低損耗蒸發(fā)沉積工藝，在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)并制備了兩種248nm增透膜，
• 關(guān)鍵字： 準(zhǔn)分子激光器  248nm