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瑞薩科技開(kāi)發(fā)高可靠性銅電子熔絲技術(shù)

• --全球第一款熔融狀態(tài)切斷的熔絲可防止低介電系數(shù)材料開(kāi)裂-- 瑞薩科技公司（Renesas Technology Corp.）宣布開(kāi)發(fā)出一種用于65nm（納米）工藝的銅電子熔絲技術(shù)，其低介電常數(shù)不會(huì)導(dǎo)致低介電系數(shù)材料的開(kāi)裂，因此具有很高的可靠性。 這種新技術(shù)在全球首次實(shí)現(xiàn)了利用熔融狀態(tài)下切斷銅熔絲的方法來(lái)防止低介電系數(shù)材料的開(kāi)裂。該技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于65nm制造工藝的試驗(yàn)階段，且已被證實(shí)可提供以下卓越的性能：1.一根熔絲切斷所需的時(shí)間少于10μs。2.在熔絲完好無(wú)損的條件下，熔絲切斷后
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