愛發(fā)科文章進(jìn)入愛發(fā)科技術(shù)社區(qū)

愛發(fā)科發(fā)布多款半導(dǎo)體制造利器，引領(lǐng)先進(jìn)制程技術(shù)革新

創(chuàng)新技術(shù)賦能先進(jìn)制造，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)效率革命?2025年3月27日，Semicon China 2025期間，全球領(lǐng)先的真空設(shè)備制造商愛發(fā)科集團(tuán)正式推出三款面向先進(jìn)半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備：?多腔室薄膜沉積系統(tǒng)ENTRON-EXX?、?針對(duì)12英寸晶圓的?集群式先進(jìn)電子制造系統(tǒng)uGmni-300以及離子注入系統(tǒng)SOPHI-200-H?。此次發(fā)布的產(chǎn)品以“靈活高效、智能協(xié)同”為核心設(shè)計(jì)理念，覆蓋晶圓制造、化合物半導(dǎo)體及封裝等關(guān)鍵領(lǐng)域，助力客戶實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破與產(chǎn)能升級(jí)。多腔室薄膜沉積系統(tǒng)ENTRON-EXX：靈活智造，釋
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　　近期，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所(以下簡稱“上海微系統(tǒng)所”)與愛發(fā)科集團(tuán)共同創(chuàng)立“先進(jìn)存儲(chǔ)器技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室”。這次成立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，雙方意在尋求半導(dǎo)體先進(jìn)存儲(chǔ)領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新、推動(dòng)存儲(chǔ)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。　　據(jù)悉，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學(xué)研究機(jī)構(gòu)之一。值得一提的是，上海微系統(tǒng)所曾研制成功國內(nèi)第一顆基于SOI材料的0.13um工藝大規(guī)模高可靠專用集成電路ASIC芯片，應(yīng)用于北斗導(dǎo)航衛(wèi)星等國家關(guān)
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