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國內首臺40nm明場納米圖形晶圓缺陷檢測設備發(fā)布

• 近日，天準科技參股的蘇州矽行半導體技術有限公司（以下簡稱“矽行半導體”）宣布，公司面向40nm技術節(jié)點的明場納米圖形晶圓缺陷檢測設備TB1500已完成廠內驗證，標志著國產半導體高端檢測設備實現(xiàn)了新的突破。這是繼去年8月，天準科技正式交付面向12英寸晶圓65~90nm技術節(jié)點的寬波段明場缺陷檢測設備TB1000不到一年后，再次取得的階段性新進展。資料顯示，矽行半導體成立于2021年11月，專注于高端晶圓缺陷檢測設備及零部件的研發(fā)、生產和銷售。本次產品TB1500是矽行半導體最新的研發(fā)成果，核心關鍵部件全部實
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