微壓傳感器文章進(jìn)入微壓傳感器技術(shù)社區(qū)

基于PGA900的薄膜微壓傳感器研究

本文基于濺射薄膜技術(shù)研制微壓傳感器，充分發(fā)揮濺射薄膜技術(shù)優(yōu)勢(shì)，通過(guò)改進(jìn)芯體結(jié)構(gòu)解決了輸出靈敏度低的難題。使用PGA900信號(hào)調(diào)理器對(duì)薄膜微壓傳感器進(jìn)行信號(hào)調(diào)理，通過(guò)內(nèi)置算法實(shí)現(xiàn)傳感器溫度補(bǔ)償和性能優(yōu)化。經(jīng)過(guò)試驗(yàn)驗(yàn)證，傳感器的性能穩(wěn)定、輸出特性良好，達(dá)到了同類產(chǎn)品的較高水平。
關(guān)鍵字： PGA900 微壓傳感器濺射薄膜信號(hào)調(diào)理 202201

微壓傳感器具體應(yīng)用說(shuō)明

　　微壓傳感器在測(cè)量過(guò)程，即壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時(shí)通過(guò)電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)得過(guò)程。　　對(duì)于微壓傳感器來(lái)說(shuō)，靈敏度和線性度是微壓力傳感器最重要的兩個(gè)性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實(shí)際應(yīng)用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對(duì)壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過(guò)這一方法實(shí)現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值
關(guān)鍵字：微壓傳感器膜片

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微壓傳感器介紹

　　微壓傳感器，亦稱微壓壓力傳感器，是一種用于測(cè)量微小壓力的傳感器，適用于介質(zhì)壓力微弱的場(chǎng)合的測(cè)量與控制。微壓傳感器的壓力形式有表壓、絕壓、負(fù)壓和差壓，是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種壓力傳感器?！　∥簜鞲衅鳎涔ぷ髟硎潜粶y(cè)介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)?！　?.量程: [ 查看詳細(xì) ]

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微壓傳感器具體應(yīng)用說(shuō)明

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