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MKS為半導體應(yīng)用推出新壓力測量解決方案

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作者：時間：2005-09-27 來源：

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MKS Instruments為半導體和生物制藥應(yīng)用推小巧、低電流的壓力測量解決方案631B。631B采用超小型設(shè)計，其安裝外殼減小了40%，很容易設(shè)計到新型小巧處理工具中。正常工作時電流小于1A(比現(xiàn)有壓力計小50%)，631B完整的電路只要求

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