基于高溫的微型壓力傳感器設計方案
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1可見，擬合的電容誤差小于1%.由此可見，在不同的時刻測得UO（t），通過曲線擬合得出參數(shù)RC.再給電路加小信號直流電源，測出R值，即求得C，通過C值則可知被測環(huán)境的壓力。圖5為350℃時，不同的壓力所對應的電容的理論值和實驗值，從實驗數(shù)據(jù)（表2）可得，在測壓的過程中，利用模型識別的方法，誤差較小，其測壓誤差小于2%.
3結束語
基于模型識別技術的高溫微型壓力傳感器電路簡單、工藝成本較低、體積小、可批量生產(chǎn)、準確度高。該傳感器避免了電阻式高溫壓力傳感器的自補償電路在高溫環(huán)境下工作時熱靈敏度漂移引起的誤差，也避免了其它電容式高溫壓力傳感器非線性補償電路在高溫環(huán)境下工作。該傳感器適合在各種高溫環(huán)境下測量氣體或液體的壓力。
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