國產(chǎn)LED生產(chǎn)設備將亮相秋季中國電子展

　　圖2就是青島華旗科技的一款適用于化合物半導體-LED/半導體照明等科研領域的外延及晶體生長MOCVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)由生長室、氣源、氣體控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、整機的計算機控制系統(tǒng)等組成，系統(tǒng)各工藝參數(shù)均可由計算機自動控制(WINDOW 界面)。該產(chǎn)品可滿足2"多片晶圓，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應加熱的結構形式，生產(chǎn)能力為2英寸1、3、6片。另外，該公司還承擔了部分國家863項目(如半導體白光照明GaN生長的HVPE設備等)。

　　賽瑞達公司除了一系列太陽能專用設備之外，也開發(fā)了幾款LED生產(chǎn)設備，包括LED專用擴散爐和專用合金爐。其LED專用擴散爐和專用合金爐關鍵件全部采用進口件，具有高可靠性和高抗干擾能力，具有可編程的升、降溫功能，以及有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能?？纱鎯艞l工藝曲線，每條工藝曲線最多有九步，曲線間可以任意鏈接、重復。另外還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達可為客戶提供斜滾式推拉舟系統(tǒng)，石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)的靈活選擇。

　　上游設備的成功本土化離不開下游外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應商、后端設備商的配合與支持。據(jù)悉，本屆秋季中國電子展，匯集了真明麗、深圳市穩(wěn)亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、臺灣億光電子、金臺電子等眾多大中小型LED企業(yè)，以及田中精機、昆山具良、日特機械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產(chǎn)設備商，并專門開辟了LED照明展區(qū)，為產(chǎn)業(yè)上下游的互動提供了良好的互動平臺，有利于促成他們之間的合作。當然，就像有些專家指出的，MOCVD等關鍵裝備的國產(chǎn)化也是一件體現(xiàn)國家意志的事情，建議國家大力地投入，全面地支持去做這件事，特別要注意工藝與設備的結合，要鼓勵外延芯片廠商應用國產(chǎn)設備，同時要給予一定的資助。