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薄晶圓系統(tǒng)提高批量制造超薄晶圓處理能力
- 基于極其成功的Galaxy印刷設(shè)備,得可已利用卓越的精準技術(shù)開發(fā)了專門處理超薄晶圓的系統(tǒng)。新的Galaxy薄晶圓系統(tǒng)提供杰出的穩(wěn)定性、工藝能力提高到Cp>2@+/-12.5μm、并擁有先進的速度和加速控制,確保強健地處理當今易損的晶圓產(chǎn)品。 Galaxy薄晶圓系統(tǒng)的杰出工藝能力核心是專業(yè)設(shè)計的晶圓托盤,提供輸送和加工75微米薄晶圓時正確固定晶圓所需的支撐和穩(wěn)定性。約400毫米見方的得可晶圓托盤,平整度小于10微米,且能容納300毫米大的晶圓。仔細的選擇和多孔材料的使用確保薄晶圓的安全
- 關(guān)鍵字: Galaxy 晶圓 托盤
中芯國際和新思科技攜手推出Reference Flow 4.0
- 全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)計、驗證和制造軟件及知識產(chǎn)權(quán)(IP)供應(yīng)商新思科技公司與中國內(nèi)地最大的芯片代工企業(yè)中芯國際集成電路制造有限公司日前宣布,將攜手推出全新的65納米RTL-to-GDSII參考設(shè)計流程4.0(Reference Flow 4.0)。作為新思科技專業(yè)化服務(wù)部與中芯國際共同開發(fā)的成果,該參考流程中增加了 Synopsys Eclypse™ 低功耗解決方案及IC Compiler Zroute布線技術(shù),為設(shè)計人員解決更精細工藝節(jié)點中遇到的低功耗和可制造性設(shè)計(DFM)等問題提供更多
- 關(guān)鍵字: 中芯國際 65納米 Galaxy RTL-to-GDSII參考設(shè)計流程4.0
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