薄膜致動(dòng)器 文章 進(jìn)入薄膜致動(dòng)器技術(shù)社區(qū)

由薄膜致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的微型機(jī)器人可以變形、鎖定形狀并不受束縛地運(yùn)行

• 清華大學(xué)的機(jī)器人專家團(tuán)隊(duì)與來(lái)自北京航空航天大學(xué)的三位同事合作，設(shè)計(jì)了一種新型微型機(jī)器人，該機(jī)器人可以不斷改變其形狀并“鎖定”為特定配置。在他們發(fā)表在《自然機(jī)器智能》雜志上的論文中，該小組描述了他們?cè)O(shè)計(jì)的因素、微型機(jī)器人的功能以及它們的可能用途。新型微型機(jī)器人功能的關(guān)鍵是該團(tuán)隊(duì)開發(fā)的薄膜形狀小型致動(dòng)器——它是通過在硅晶片上旋轉(zhuǎn)一層硅膠涂層，然后在基板上轉(zhuǎn)移印刷聚酰亞胺薄膜制成的。然后，使用電子束蒸發(fā)、光刻和銅層的濕法蝕刻添加一層銅。它是用激光切割完成的。當(dāng)添加傳感器、電機(jī)和類似樂高積木的積木時(shí)，該致動(dòng)器允許
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