- 隨著薄膜產品對品質和性能指標要求的增加，現代等離子體薄膜沉積工藝必須考慮到電弧不可避免的影響，并將盡可能減輕電弧導致的損壞。對于大多數等離子體工藝而言，識別、測量和限制打弧發(fā)生期間傳輸到等離子體內的能量大小一直是需要考慮的最重要因素之一。本文列出了常見電弧事件的電氣特性，描述了可重復測得電弧能的方法，提供了一些利用先進等離子體電源通用特性來減少電弧發(fā)生時傳輸到工藝中電弧能量的技術，并給出支持這些技術的實驗數據。01. 簡介現代薄膜工藝工程師一直面臨在不犧牲薄膜品質、性能和產率的前提下如何提高等離子體工藝產
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AE 電弧能
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