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EEPW首頁(yè) >> 主題列表 >> 托盤(pán)

薄晶圓系統(tǒng)提高批量制造超薄晶圓處理能力

  • 　　基于極其成功的Galaxy印刷設(shè)備，得可已利用卓越的精準(zhǔn)技術(shù)開(kāi)發(fā)了專門(mén)處理超薄晶圓的系統(tǒng)。新的Galaxy薄晶圓系統(tǒng)提供杰出的穩(wěn)定性、工藝能力提高到Cp>2@+/-12.5μm、并擁有先進(jìn)的速度和加速控制，確保強(qiáng)健地處理當(dāng)今易損的晶圓產(chǎn)品。 　　Galaxy薄晶圓系統(tǒng)的杰出工藝能力核心是專業(yè)設(shè)計(jì)的晶圓托盤(pán)，提供輸送和加工75微米薄晶圓時(shí)正確固定晶圓所需的支撐和穩(wěn)定性。約400毫米見(jiàn)方的得可晶圓托盤(pán)，平整度小于10微米，且能容納300毫米大的晶圓。仔細(xì)的選擇和多孔材料的使用確保薄晶圓的安全
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托盤(pán)介紹

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