微加速度計(jì) 文章進(jìn)入微加速度計(jì)技術(shù)社區(qū)

田字形單質(zhì)量塊三軸電容式微加速度計(jì)的設(shè)計(jì)與仿真

介紹了一種田字形單質(zhì)量塊三軸電容式微加速度計(jì)的設(shè)計(jì)與仿真。該加速度計(jì)以SOI晶圓作為基片，經(jīng)過氧化、光刻、干法刻蝕和濕法刻蝕等工藝步驟得到。通過支撐梁和3個(gè)軸的敏感結(jié)構(gòu)的巧妙設(shè)計(jì)，有效避免了平面內(nèi)和垂直方向的交叉軸干擾的影響，并提高了Z軸的靈敏度。通過差分電容的設(shè)計(jì)，理論上消除了交叉軸干擾。通過仿真得到了該加速度計(jì)在3個(gè)軸向上的靈敏度及抗沖擊能力。結(jié)合理論分析和ANSYS仿真結(jié)果，可以得出結(jié)論：所設(shè)計(jì)的加速度計(jì)擁有較低的交叉軸干擾、較高的靈敏度以及較強(qiáng)的抗沖擊能力，在慣性傳感器領(lǐng)域有一定的應(yīng)用前景。
關(guān)鍵字：微加速度計(jì) SOI 交叉軸干擾靈敏度

一種基于微加速度計(jì)的無線教鞭系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　摘要：為彌補(bǔ)多媒體教學(xué)中激光筆的不足，提出了一種基于微加速度計(jì)的無線教鞭系統(tǒng)，它不僅具有激光筆上下翻頁的功能，而且能在空中自由靈活移動(dòng)實(shí)現(xiàn)高精度點(diǎn)擊的功能，該系統(tǒng)以微加速度計(jì)ADXL345作為信號(hào)檢測(cè)元件，并采用低功耗低成本微控制器AT89S52和RF芯片nRF24 L01進(jìn)行信息處理與無線傳榆，符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，最大限度地滿足人們使用鼠標(biāo)時(shí)在手感以及舒適度和使用習(xí)慣方面的要求。　　目前多媒體教學(xué)或會(huì)議演示中已經(jīng)用到無線教鞭，但是更多的只能用來文檔的翻頁，所以使用時(shí)還得配合有線或無線的鼠標(biāo)，正由
關(guān)鍵字：無線教鞭系統(tǒng) 微加速度計(jì) ADXL345

一種電容式微加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和工藝仿真

關(guān)鍵字：電容式微加速度計(jì) 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 工藝

基于ARM和FPGA的微加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)設(shè)計(jì)

摘要：基于常用的MEMS慣性器件微型加速度計(jì)，介紹一種采用ARM和FPGA架構(gòu)來采集加速度數(shù)值的設(shè)計(jì)方案，微加速度計(jì)的模擬輸出信號(hào)經(jīng)A／D芯片轉(zhuǎn)換后由FPGA進(jìn)行處理和緩存，然后ARM接收FPGA的輸出數(shù)據(jù)并對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行顯示和
關(guān)鍵字： FPGA ARM 微加速度計(jì) 數(shù)據(jù)采集

復(fù)合量程微加速度計(jì)動(dòng)態(tài)特性分析

1 引言
隨著硅微機(jī)械技術(shù)的不斷發(fā)展，基于壓阻原理的微加速度計(jì)已成為商品。由于硅的機(jī)械性能優(yōu)良，這些微加速度計(jì)往往具有較高的抗過載能力。然而，有些物理過程存在相差上百倍的多個(gè)加速度值需要測(cè)量，需要測(cè)
關(guān)鍵字：復(fù)合量程動(dòng)態(tài)特性分析微加速度計(jì)

共5條 1/1 1

微加速度計(jì)介紹

　　微加速度計(jì)是指加速度計(jì)與微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）相結(jié)合的一種用于測(cè)量加速度變化量的裝置，也叫MEMS加速度計(jì)。它是一種慣性傳感器，能夠測(cè)量物體的加速力，能夠及時(shí)分析物體運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，通過微電子機(jī)械系統(tǒng)測(cè)量出物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)及軌跡?！　∥⒓铀俣扔?jì)按檢測(cè)方式，可分為壓阻式、電容式、隧道式、共振式、熱形式等幾種?！　?. 壓阻式加速度計(jì)：通過在質(zhì)量塊的支撐（suspension）上嵌有壓敏電阻來感應(yīng)質(zhì)量 [ 查看詳細(xì) ]

微加速度計(jì) 文章 進(jìn)入微加速度計(jì)技術(shù)社區(qū)