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美國(guó)材料信息學(xué)會(huì)和日立國(guó)際電氣簽署原子層沉積技術(shù)授權(quán)協(xié)議

• 　　美國(guó)材料信息學(xué)會(huì)(ASM International)與日立國(guó)際電氣(Hitachi Kokusai Electric Inc.，東京證券交易所(一部)和大阪證券交易所(一部))宣布，雙方已簽署一項(xiàng)授權(quán)協(xié)議。根據(jù)此項(xiàng)協(xié)議，美國(guó)材料信息學(xué)會(huì)將把原子層沉積技術(shù)專利在批次式原子層沉積領(lǐng)域的使用權(quán)授予日立國(guó)際電氣。協(xié)議的詳細(xì)條款未對(duì)外披露。 　　多年來(lái)，美國(guó)材料信息學(xué)會(huì)一直是原子層沉積領(lǐng)域的先驅(qū)，擁有大量專利，包括原子層沉積專利以及在豎爐中成批實(shí)施原子層沉積的技術(shù)專利。這一技術(shù)使得在豎爐中實(shí)施原子層沉積并同
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