動力學系統(tǒng) 文章 進入動力學系統(tǒng)技術社區(qū)

新型光學加速度傳感器動力學性能設計

• 　　引 言 　　動力學振動系統(tǒng)是眾多慣性傳感器中的重要組成部分，其參數(shù)的選取決定了傳感器的性能的優(yōu)劣。針對基于菲涅耳衍射微透鏡的新型光學加速度傳感器設計了一種簡單實用的敏感加速度的振動系統(tǒng)，它是由一個微彈性機械結構連接在外框架上構成。微彈性機械結構不僅是微型加速度傳感器重要組成部分，而且，在微型驅動器、微位移計、微陀螺儀及其他慣性傳感器中也有著重要的應用，在微機電系統(tǒng)(MEMS)中發(fā)揮著重要的作用。目前，MEMS中類似于微彈性機械結構的敏感裝置主要有硅懸臂梁、直角彈性結構及結構更復雜的硅彈簧等。微彈性機
• 關鍵字： 模擬技術  電源技術  傳感器  動力學系統(tǒng)  傳感器  執(zhí)行器