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基于以太網(wǎng)的低溫等離子體測控系統(tǒng)基于以太網(wǎng)的低溫等離子體測控系統(tǒng)

  • 摘要：針對低溫等離子體設(shè)備系統(tǒng)的特點(diǎn)，構(gòu)建了基于以太網(wǎng)的低溫等離子體測控系統(tǒng)。設(shè)計(jì)開發(fā)了帶有以太網(wǎng)和RS485接口的設(shè)備節(jié)點(diǎn)電路板，采用C#編寫了上位機(jī)軟件。測試發(fā)現(xiàn)通過上位機(jī)軟件或者手動的方式可以控制真空泵
  • 關(guān)鍵字： 以太網(wǎng)  RS485  低溫等離子體  
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低溫等離子體介紹

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