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低能電子對單面介質(zhì)加載微波部件微放電的影響*

• 在微波設(shè)備微放電效應(yīng)的研究中，低能電子的作用通常被忽略。本文重點研究了低能電子對單面介質(zhì)加載微波部件微放電的影響，基于蒙特卡洛算法，建立了單面介質(zhì)加載微波部件的微放電的模型，模擬了單面介質(zhì)加載微波部件微放電的規(guī)律，利用數(shù)值的方法對波導(dǎo)中靜電場進行求解并對電子的軌跡進行跟蹤。通過對比經(jīng)典的Vaughan二次電子發(fā)射模型（考慮低能電子）和Rice模型（沒有考慮低能電子）的模擬結(jié)果，獲得了低能電子對單面介質(zhì)加載微波部件微放電的影響。
• 關(guān)鍵字： 低能電子  微放電  介質(zhì)加載  202110