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一種增大質量塊的三軸MEMS加速度計的設計

• 　　馮?堃，張國俊，王姝婭，戴麗萍，鐘志親（電子科技大學?電子科學與工程學院，成都611731）　　摘?要：介紹了一種增大質量塊設計的三軸MEMS加速度計。該加速度計基于絕緣體上硅（SOI）硅片，采用雙面光刻、干法刻蝕的工藝，利用了部分SOI硅片的底層硅部分來增大加速度計的質量塊，設計了基于單一米字形質量塊的三軸MEMS電容式微加速度計。根據(jù)不同的外界加速度對器件產(chǎn)生的不同位移，研究了在三個軸向的加速度計的靈敏度，同時分析了加速度計的交叉軸耦合的影響。最后結合Ansys仿真結果得出：所設計的微加速度計具有
• 關鍵字： 202005  微機械系統(tǒng)  三微加速度計  高靈敏度  絕緣體上硅